[发明专利]一种X射线测厚仪的在线校正装置及方法

权利要求书

1.一种X射线测厚仪的在线校正装置，其特征在于，包括：射线束分割器、强度获取模块和校正模块；

所述射线束分割器用于将所述X射线测厚仪所使用的X射线分割为工作射线和非工作射线，所述工作射线用于测量被测物体的厚度，所述非工作射线用于获取所述X射线的强度；

所述强度获取模块与所述校正模块相连，用于根据所述非测量射线得到所述X射线测厚仪工作时的X射线强度；

所述校正模块用于在X射线强度变化超过阈值时，修正标定曲线，其中，所述标定曲线为所述工作射线与被测物体的厚度之间的关系曲线。

2.根据权利要求1所述X射线测厚仪的在线校正的装置，其特征在于，所述强度获取模块包括：副射线探测器和副检测电路；

所述副射线探测器与所述副检测电路相连，用于接收所述非工作射线；

所述副检测电路与所述校正模块相连，用于将所述非工作射线转换为电信号，并发送给所述校正模块；

所述校正模块用于在所述副检测电路发送的电信号的变化超过所述阈值时，根据所述工作射线与非工作射线的强度关系函数，以及根据所述工作射线的零点标定电压，修正所述标定曲线，其中，所述零点标定电压为确定所述强度关系函数时，所述工作射线全辐射时对应的电压值。

3.根据权利要求2所述的X射线测厚仪的在线校正装置，其特征在于，所述装置还包括：第一主射线探测器和第一主检测电路；

所述第一主射线探测器与所述第一主检测电路相连，用于接收所述X射线测厚仪在非测量状态下的工作射线；

所述第一主检测电路与所述校正模块相连，用于将所述第一主射线探测器接收的工作射线转换为电信号，所述电信号的电压为所述零点标定电压；

所述校正模块还用于从所述第一主检测电路获取所述零点标定电压。

4.根据权利要求3所述的X射线测厚仪的在线校正装置，其特征在于，所述装置还包括：函数确定模块；

所述函数确定模块分别与所述第一主检测电路、所述副检测电路及所述校正模块相连；

所述副检测电路还用于将所述X射线测厚仪在所述非测量状态下的非工作射线转换为第一电信号；

所述函数确定模块用于根据所述零点标定电压及所述第一电信号确定所述强度关系函数；

所述校正模块还用于从所述函数确定模块获取所述强度关系函数。

5.根据权利要求1-4任一项所述的X射线测厚仪的在线校正装置，其特征在于，所述装置还包括：存储器；

所述存储器与所述校正模块相连，用于存储所述标定曲线。

6.一种X射线测厚仪，其特征在于，包括：X射线源、支撑架、第二主射线探测器、第二主检测电路、厚度获得模块和上述权利要求1-5任一项所述的X射线测厚仪的校正装置；

所述支撑架用于支撑所述X射线源、第二主射线探测器、第二主检测电路和所述校正装置；

所述第二主射线探测器、第二主检测电路和所述校正装置分别与所述厚度获得模块相连；

所述第二主射线探测器用于在所述X射线测厚仪测量工作状态下，接收所述校正装置分割出的工作射线；

所述第二主检测电路用于将所述第二主射线探测器接收的工作射线转换为电信号，并发送给所述厚度获得模块；

所述厚度获得模块用于根据所述校正装置修正的标定曲线以及所述第二主检测电路发送的电信号，得到被测物体的厚度。

7.根据权利要求6所述的X射线测厚仪，其特征在于，所述支撑架为C型架。

8.根据权利要求6或7所述的X射线测厚仪，其特征在于，所述测厚仪还包括：显示模块；

所述显示模块与所述厚度获得模块相连，用于显示所述厚度获得模块得到的被测物体的厚度。

9.一种X射线测厚仪在线校正方法，其特征在于，包括：

在X射线测厚仪测量过程中，将X射线分割为工作射线和非工作射线，所述工作射线用于测量被测物体的厚度，所述非工作射线用于获取所述X射线的强度；

根据所述非工作射线监测所述X射线的强度；

当所述X射线的强度变化超过阈值时，修正标定曲线，其中，所述标定曲线为所述工作射线与被测物体的厚度之间的关系曲线。