[发明专利]一种晶棒切片系统

权利要求书

1.一种晶棒切片系统，包括钢线切割机构(17)和晶棒夹持运动机构(22)，所述钢线切割机构(17)由钢线(1)、线辊(2，18，19，20)和钢线驱动装置组成，所述晶棒夹持运动机构(22)可带动待切割晶棒(23)沿水平方向和垂直方向运动，其特征在于：还包括水箱机构(16)，所述水箱机构(16)包括装有切割水(4)的切割水箱(3)，两个线辊(2，18)相隔一段距离平行设置在所述切割水箱(3)上方，两个线辊(19，20)相隔一段距离水平设置在所述切割水箱(3)的切割水(4)的水面以下并完全没入切割水(4)中，所述钢线(1)通过所述四个线辊(2，18，19，20)使得切割水(4)中的工作钢线部分(21)平行设置，所述晶棒夹持运动机构(22)夹持晶棒(23)的两端，带动晶棒(23)垂直向下运动并完全没入切割水(4)中，使得晶棒(23)的棒身与工作钢线(21)接触进行切片。

2.如权利要求1所述的晶棒切片系统，所述水箱机构(16)还包括过滤水箱(5)以及连接在切割水箱(3)和装有过滤水(6)的过滤水箱(5)之间的抽水管道(7)和排水管道(8)；所述抽水管道(7)上设置有抽水泵，所述过滤水箱(5)中设置有过滤器。

3.如权利要求1所述的晶棒切片系统，所述晶棒夹持运动机构(22)为龙门架结构，包括左底座(15)和右底座(24)、分别设置在所述左底座(15)和右底座(24)上的左垂直滑动柱(12)和右垂直滑动柱(25)、滑动设置在所述左垂直滑动柱(12)和右垂直滑动柱(25)上的水平滑动梁(11)以及滑动设置在水平滑动梁(11)上的晶棒夹具(9)。

4.如权利要求3所述的晶棒切片系统，所述左垂直滑动柱上(12)设置有水平滑动梁驱动电机(14)，用于驱动水平滑动横梁沿左右垂直滑动柱垂直运动，所述水平滑动梁(11)上设置有晶棒夹具驱动电机(13)，用于驱动晶棒夹具(9)沿水平滑动横梁水平运动，所述晶棒夹具(9)上设置有晶棒旋转驱动电机(23)，使得夹持在晶棒夹具(9)上的晶棒(23)能够做高速旋转。

5.如权利要求1所述的晶棒切片系统，所述钢线切割机构(17)中设置多条钢线(1)，各钢线(1)两两相隔一定距离分别在所述四个线辊上水平分布。

6.如权利要求2所述的晶片切割系统，所述抽水管道(7)设置在切割切割水箱(3)一侧上部，所述排水管道(8)设置在所述切割水箱(3)的另一侧下部。

7.如权利要求4所述的晶棒切片系统，所述晶棒夹具(9)通过连接板(28)与所述水平滑动横梁(11)滑动连接，在所述连接板(28)上分别固定设置有前夹板(30)和滑动设置有后夹板(29)，所述前夹板(30)和后夹板(29)的下部分别转动连接有用于夹持晶棒(23)的后卡盘(33)和前卡盘(32)，所述前卡盘(32)与设置在所述前夹板(30)上的晶棒旋转驱动电机(23)的转动输出轴连接，还包括定位气缸(26)，所述定位气缸的气缸杆(31)连接在所述后夹板(29)上，所述定位气缸(26)与固定板(27)固定连接，所述固定板(27)固定连接在所述连接板(28)上。