[发明专利]一种分光探测器

权利要求书

1.一种分光探测器，其特征在于，包括：

输入光纤阵列，所述输入光纤阵列包括多条并排设置的输入光纤，对光信号进行接收并输出；

光波导阵列，所述光波导阵列包括多条光波导，所述光波导与所述输入光纤一一对应，且与其对应的输入光纤耦合连接，对所述输入光纤阵列接收的光信号进行传输；

分光滤波结构，所述分光滤波结构沿所述输入光纤延伸方向将所述光波导阵列分割成第一光波导阵列和第二光波导阵列，并将所述第一光波导阵列的输出光分成沿平行于所述光纤延伸方向传输，并被第二光波导阵列接收的第一光束，和沿所述分光滤波结构反射方向传输的第二光束；

输出光纤阵列，所述输出光纤阵列包括多条输出光纤，所述输出光纤与所述第二光波导阵列中的光波导一一对应，并与所述第二光波导阵列中光波导的输出端耦合连接，对所述第一光束进行输出；

光探测结构，所述光探测结构位于所述分光滤波结构沿第二光束方向传播的上方，接收所述第二光束，并对所述第二光束进行检测。

2.根据权利要求1所述的分光探测器，其特征在于，所述光波导阵列上具有凹槽，所述分光滤波结构位于所述凹槽内。

3.根据权利要求2所述的分光探测器，其特征在于，所述凹槽沿所述光波导阵列延伸方向垂直于所述光波导阵列所在平面的剖面形状为矩形。

4.根据权利要求3所述的分光探测器，其特征在于，所述的分光滤波结构沿所述矩形的对角线放置。

5.根据权利要求2所述的分光探测器，其特征在于，所述凹槽沿所述光波导阵列延伸方向垂直于所述光波导阵列所在平面的剖面形状为平行四边形。

6.根据权利要求5所述的分光探测器，其特征在于，所述平行四边形沿光信号传播的方向的长度大于分光滤片的厚度。

7.根据权利要求1所述的分光探测器，其特征在于，所述光波导阵列上具有沿垂直于所述光波导阵列延伸方向贯穿所述光波导阵列的通孔，所述分光滤波结构位于所述通孔内。

8.根据权利要求2-7任一项所述的分光探测器，其特征在于，所述分光滤波结构的反射面与所述光波导阵列延伸方向所成的角度在40度到50度范围内，包括端点值。

9.根据权利要求1所述的分光探测器，其特征在于，所述光探测结构为光电二极管阵列。

10.根据权利要求1所述的分光探测器，其特征在于，所述分光滤波结构为分光滤波片。

11.根据权利要求10所述的分光探测器，其特征在于，所述分光滤波片的反射率为5％。

12.根据权利要求1所述的分光探测器，其特征在于，所述光波导阵列的横截面的形状为正多边形或圆形。