[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过OVD法(外部沉积法)、VAD法(气相轴向沉积法)、MMD法(多燃烧器多层沉积法)等使玻璃微粒沉积在起始棒上来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法以及对该玻璃微粒沉积体进行加热从而使其透明化的玻璃母材制造方法。

背景技术

作为现有的玻璃母材制造方法，已知的是包括以下工序的制造方法：通过OVD法或VAD法等制作玻璃微粒沉积体的沉积工序，以及对该玻璃微粒沉积体进行加热从而制作透明的玻璃母材的透明化工序。

例如，专利文献1公开了可在预制件(玻璃母材)形成时使用的、能使不含卤化物的八甲基环四硅氧烷(OMCTS)等含硅化合物氧化的精密燃烧器。

专利文献2公开了能够使SiCl₄及GeCl₄或OMCTS等含硅化合物发生水解反应或氧化反应的线型燃烧器。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特表平11-510778号公报

专利文献2：美国专利6743011号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1以及专利文献2中记载的燃烧器中，在燃烧器的火焰内将生成的玻璃微粒沉积在起始棒上从而制造玻璃微粒沉积体时，在提高玻璃原料收率的方面有改善的余地。

因此，本发明是鉴于以上问题而进行的，且其目的在于提供能够提高玻璃微粒沉积体的玻璃原料收率的玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法。

问题的解决方案

作为可以解决上述问题的玻璃微粒沉积体的制造方法，本发明提供这样的一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其具有如下的沉积工序：在反应容器内设置起始棒和玻璃微粒生成用燃烧器，向所述燃烧器中导入玻璃原料，在所述燃烧器所形成的火焰内使玻璃原料发生火焰热分解反应以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉积在所述起始棒上，从而制作玻璃微粒沉积体；

在所述沉积工序中，每一个燃烧器至少设置两个从所述燃烧器喷出玻璃原料的出射口，将所述出射口中至少一个出射口的面积设为所述燃烧器的火焰形成部的面积的2.25×10^-4以下，将所述玻璃原料以液体状态供给至各所述出射口，气体喷出口的内周配置在自各所述出射口的外周向外侧1.0mm以内的位置处，并从所述气体喷出口喷出气体。

另外，作为可以解决上述课题的玻璃母材的制造方法，本发明提供这样一种玻璃母材的制造方法，其具有如下的透明化工序：通过上述玻璃微粒沉积体的制造方法而制造玻璃微粒沉积体，对该制造的玻璃微粒沉积体进行加热而制造透明的玻璃母材。

发明效果

根据本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法，可以提高玻璃微粒沉积体的玻璃原料收率。

附图简要说明

图1是示出可以实施本发明的实施方式的一个例子所述的玻璃微粒沉积体的制造方法的制造装置的构成图。

图2(a)是从燃烧器面一侧观察在图1所示的制造装置中生成玻璃微粒的燃烧器的一个例子的平面图，(b)是(a)的平面图中的燃烧器面的原料喷口附近的放大图。

图3是示出向图2(b)所示的原料喷口供给液体原料，同时从其外侧供给气体的状态下的燃烧器的纵断面的放大图。

图4是示出本发明的变形例所述的燃烧器的原料喷口的燃烧器面的放大图。

图5是在图1所示的制造装置中生成玻璃微粒的燃烧器的另外一个例子的燃烧器面的平面图。

符号说明

1：制造装置

2：反应容器

3：升降旋转装置

5：控制部

10：支持棒

11：起始棒

12：排气管

21：原料供给装置

22、122：燃烧器

23：液体原料

24：原料容器

25：泵

26：供给配管

27：温控室

28：带加热器

30：玻璃微粒

31、131：原料喷口

31a：液体原料用喷口(玻璃原料的出射口的一个例子)

31b：喷气口(气体喷出口的一个例子)

32、132：密封气体喷口

33、133：燃气喷口

35、135：火焰形成部

M：玻璃微粒沉积体

具体实施方式