[发明专利]检测装置、传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种检测装置、传感器、电子设备以及移动体等，其能够通过设定成与振子的等效串联电阻相对应的负性电阻来进行正弦波驱动。检测装置包括对振子(10)进行驱动的驱动电路(30)和对所需信号进行检测的检测电路(60)。驱动电路(30)具有：电流/电压转换电路(32)，其接收反馈信号(DI)并实施电流/电压转换；驱动信号输出电路(50)，其对电流/电压转换后的输入电压信号(DV)进行放大并输出正弦波的驱动信号(DQ)；增益控制电路(40)，其对驱动信号输出电路(50)中的驱动信号(DQ)的放大的增益进行控制。在将电流/电压转换用的电阻设为RI、将驱动信号输出电路(50)中的驱动信号(DQ)的放大的增益设为K、将振子(10)的基本波模式中的等效串联电阻设为R的情况下，增益控制电路以成为40K×RI＝R的方式而实施增益控制。

技术领域

本发明涉及一种检测装置、传感器、电子设备以及移动体等。

背景技术

在数码照相机、智能电话等的电子设备或车、飞机等的移动体中，装入有用于对因外部因素而发生变化的物理量进行检测的陀螺传感器。这样的陀螺传感器对角速度等的物理量进行检测，并被使用于所谓的手抖补偿、姿态控制、GPS自动巡航等中。

作为这样的陀螺传感器之一，已知有水晶压电振动陀螺传感器等的振动陀螺传感器。在振动陀螺传感器中，对与因旋转而产生的科里奥利力对应的物理量进行检测。作为这样的振动陀螺传感器的检测装置，例如已知有在专利文献1、2和非专利文献1中所公开的现有技术。

在专利文献1的现有技术中，通过利用AGC(Automatic Gain control：自动增益控制)电路而使振幅受到控制的矩形波的驱动信号，来对振子进行驱动。然而，由于在矩形波的驱动信号中含有较多的谐波成分，因此因该谐波成分而会使检测装置的检测性能降低。

另一方面，在非专利文献1的现有技术中，AGC电路的输出信号被输入至带通滤波器，并将带通滤波器处理后的信号作为驱动信号而向振子输出。由于通过实施这样的带通滤波器处理，从而能够去除驱动频率成分以外的谐波成分，因此能够某种程度地抑制主要由谐波成分而引起的检测装置的检测性能的降低。然而，为了通过带通滤波器处理而得到变形较少的正弦波的驱动信号，从而需要窄带域的带通滤波器，其设计并不容易，难以充分地减少驱动信号的谐波成分。

另外，在专利文献2的现有技术中，在振子的第1侧面形成两个压电元件，并向与第1侧面对置的第2侧面输入振荡电路的输出信号。而且，通过将这两个压电元件的输出信号在加法电路中相加，并将加法输出信号向振荡电路输入，从而得到正弦波的驱动信号。然而，在该现有技术中，为了得到正弦波的驱动信号而需要特殊的结构的振子。另外，在专利文献1、2和非专利文献1中，均未公开关于考虑到了振子的等效串联电阻与负性电阻的关系的正弦波的驱动信号的设计思想。

专利文献1：日本特许4930253号

专利文献2：日本特开2006-29901号公报

非专利文献1：Panasonic Technical Journal Vol.58No.1Apr.2012，“民生用3轴角速度(动作)传感器的研发”，佐佐木、藤井、吉内、森仲、中村、山崎

发明内容

根据本发明的几个方式，能够提供一种通过设定成与振子的等效串联电阻相对应的负性电阻来进行正弦波驱动的检测装置、传感器、电子设备以及移动体等。

本发明是为了解决上述的课题中的至少一部分而完成的，其能够以以下的形态或者方式来实现。