[发明专利]编码器、具有编码器的电机、和伺服系统

权利要求书

1.一种编码器，包括：

多个狭缝轨道，所述多个狭缝轨道分别具有沿着测量方向设置的多个反射狭缝；

点光源，所述点光源被构成为向所述多个狭缝轨道射出扩散光；

两个第一受光阵列，所述两个第一受光阵列被配置成在与所述测量方向大致垂直的宽度方向上夹着所述点光源；

两个第二受光阵列，所述两个第二受光阵列被配置成在所述测量方向上夹着所述点光源；以及

第三受光阵列，所述第三受光阵列被构成为接收被具有间距与其他的增量图案的间距不同的增量图案的所述狭缝轨道反射的光并且被配置在所述点光源的配置有所述两个第一受光阵列中的一个第一受光阵列的方向上的位置中。

2.根据权利要求1所述的编码器，其中，

所述第三受光阵列被构成为接收被具有间距比其他的增量图案的间距更长的增量图案的所述狭缝轨道反射的光，并且被配置成与所述点光源之间夹着所述第一受光阵列。

3.根据权利要求1所述的编码器，其中，

所述第三受光阵列被构成为接收被具有间距比其他的增量图案的间距更短的增量图案的所述狭缝轨道反射的光，并且被配置成与所述点光源之间夹着所述第一受光阵列。

4.根据权利要求1所述的编码器，其中，

所述第三受光阵列被配置在所述两个第一受光阵列之间。

5.根据权利要求2所述的编码器，其中，

所述测量方向是以中心轴为中心的圆周方向，

被构成为接收被具有间距比其他的增量图案的间距更长的的增量图案的所述狭缝轨道反射的光的所述第三受光阵列相对于所述点光源被配置在中心轴侧。

6.根据权利要求3所述的编码器，其中，

所述测量方向是以中心轴为中心的圆周方向，

被构成为接收被具有间距比其他的增量图案的间距更短的增量图案的所述狭缝轨道反射的光的所述第三受光阵列相对于所述点光源被配置在所述中心轴的相反侧。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的编码器，其中，

所述两个第一受光阵列被构成为接收被具有绝对图案的多个狭缝轨道中的两个狭缝轨道分别反射的光，以及

所述两个第二受光阵列被构成为接收被具有增量图案的多个狭缝轨道中的一个狭缝轨道反射的光。

8.一种编码器，包括：

多个狭缝轨道，所述多个狭缝轨道分别具有沿着测量方向设置的多个反射狭缝；

点光源，所述点光源被构成为向所述多个狭缝轨道射出扩散光；

两个第一受光阵列，所述两个第一受光阵列被配置成在与所述测量方向大致垂直的宽度方向上夹着所述点光源；

两个第二受光阵列，所述两个第二受光阵列被配置成在所述测量方向上实质上夹着所述点光源；以及

两个第三受光阵列，所述两个第三受光阵列被构成为接收被具有间距与其他的增量图案的间距不同的增量图案的所述狭缝轨道反射的光并且被配置为在所述两个第一受光阵列之间在所述测量方向上实质上夹着所述点光源。

9.一种具有编码器的电机，包括：

线性电机，其中，可动部件相对于定子移动；或者旋转型电机，其中，转子相对于定子旋转；以及

根据权利要求1或8所述的编码器，所述编码器被构成为检测所述可动部件的位置和速度中的至少一者；或者所述编码器被构成为检测所述转子的位置和速度中的至少一者。

10.一种伺服系统，包括：

线性电机，其中，可动部件相对于定子移动；或者旋转型电机，其中，转子相对于定子旋转；

根据权利要求1或8所述的编码器，所述编码器被构成为检测所述可动部件的位置和速度中的至少一者，或者所述编码器被构成为检测所述转子的位置和速度中的至少一者；以及

控制器，所述控制器被构成为基于所述编码器的检测结果控制所述线性电机或所述旋转型电机。