[发明专利]355nm紫外固体激光器

权利要求书

1.一种355nm紫外固体激光器，包括设置在底板（12）上的半导体侧面泵浦模块（5），其特征在于：侧面泵浦模块（5）左侧的滑轨（11）上由远及近同轴设置有准直激光器（1）、全反射腔镜（2）、第一声光Q开关（3）和第二声光Q开关（4），侧面泵浦模块（5）右侧的滑轨（11）上由近及远同轴设置有谐波反射镜（6）、倍频晶体（7）、和频晶体（8）、 三次谐波输出镜（9）和光阑（10）。

2.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：全反射腔镜（2）、谐波反射镜（6）及三次谐波输出镜（9）均为平面镜。

3.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：所述的全反射腔镜（2）内表面镀有1064nm基频波长高反膜。

4.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：所述的第一声光Q开关（3）与第二声光Q开关（4）通光端面镀有1064nm波长增透膜。

5.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：所述的半导体侧面泵浦模块（5）包括一支尺寸为Φ3mm×130mm的Nd：YAG晶体与40个功率20W的激光器阵列，激光器阵列发射808nm波长的泵浦光，按五角形等间距对称环绕泵浦Nd：YAG晶体，Nd：YAG晶体中Nd³⁺掺杂浓度为0.6at%，通光端面镀有1064nm波长增透膜。

6.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：所述的谐波反射镜（6）左端面镀有1064nm波长增透膜，右端面镀有532nm和355nm波长的高反膜及1064nm波长的增透膜。

7.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：所述的倍频晶体（7）与和频晶体（8）均为非线性光学晶体三硼酸锂，所述的倍频晶体（7）左右两通光端面均镀有1064nm和532nm波长增透膜，和频晶体（8）左右两通光端面均镀有1064nm、532nm和355nm波长增透膜。

8.根据权利要求1所述的355nm紫外固体激光器，其特征在于：所述的三次谐波输出镜（9）左端面镀有1064nm和532nm波长高反膜及355nm增透膜，右端面面镀有355nm波长增透膜。