[发明专利]一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭有效
| 申请号: | 201410632434.3 | 申请日: | 2014-11-11 |
| 公开(公告)号: | CN104294358B | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
| 发明(设计)人: | 张帅;朱常任;郭晓琛;王双丽 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
| 地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 制备 方法 | ||
1.一种多晶硅锭的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
制备均匀悬浮有形核颗粒的硅熔液;
使熔化的硅熔液自下至上定向凝固,制得多晶硅锭。
2.根据权利要求1所述的多晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述制备悬浮有形核颗粒的硅熔液的步骤包括:
将混杂有形核颗粒的多晶硅料投入坩埚;
加热熔化所述混杂有形核颗粒的多晶硅料。
3.根据权利要求1所述的多晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述制备悬浮有形核颗粒的硅熔液的步骤包括:
将多晶硅料投入坩埚;
加热熔化所述多晶硅料形成硅熔液;
向所述硅熔液中加入形核颗粒。
4.根据权利要求1所述的多晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述制备悬浮有形核颗粒的硅熔液的步骤包括:
向坩埚内投入形核颗粒;
在另一个坩埚中加热固体硅料,制得熔融状态的硅料,并将所述熔融状态的硅料浇注至设有形核颗粒的坩埚内。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的多晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述形核颗粒为固体硅与氧化硅的复合体。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的多晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述形核颗粒的颗粒度为0.1~1mm。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的多晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述形核颗粒的密度为2.5-2.6g/cm3。
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