[发明专利]一种前置于真空获得设备的气体过滤装置

权利要求书

1.一种前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：包括上级过滤器(A)、中间连接盘(5)及下级过滤器(B)，其中下级过滤器(B)的下端设有下级进气口(2)，上端与上级过滤器(A)的底部连接，所述上级过滤器(A)的顶部设有上级排气口(10)，所述中间连接盘(5)设置于上级过滤器(A)的底部，所述中间连接盘(5)上沿周向设有多个将上级过滤器(A)和下级过滤器(B)连通的通孔；

所述下级过滤器(B)包括下级过滤器腔体(1)和设置于下级过滤器腔体(1)内的下级滤芯(3)，所述下级进气口(2)设置于下级过滤器腔体(1)的下端侧壁上，所述下级滤芯(3)的侧壁上背对下级进气口(2)的位置设有下级滤芯进气口，所述下级滤芯(3)的顶部设有与中间连接盘(5)上的通孔连通的下级滤芯出气口。

2.按权利要求1所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述上级过滤器(A)包括上盖板(12)、上级过滤腔体(7)及设置于上级过滤腔体(7)内的上级滤芯，其中上盖板(12)设置于上级过滤腔体(7)的顶部，所述上级排气口(10)设置于上盖板(12)上，所述上级滤芯的中心孔与上级排气口(10)连通，所述中间连接盘(5)上的通孔位于上级滤芯的外侧。

3.按权利要求2所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述上级滤芯包括上级滤芯骨架(6)、上级滤芯过滤网(13)及滤纸(14)，其中上级滤芯骨架(6)为圆柱形、并外侧包覆有滤纸(14)，所述滤纸(14)的外侧设有上级滤芯过滤网(13)。

4.按权利要求3所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述上级滤芯过滤网(13)和滤纸(14)呈折扇形褶皱。

5.按权利要求2所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述上盖板(12)上设有把手(9)和压力表(11)。

6.按权利要求2所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述上盖板(12)通过卡箍Ⅱ(8)安装在上级过滤腔体(7)的顶部。

7.按权利要求1所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述上级过滤器(A)和下级过滤器(B)通过卡箍Ⅰ(4)连接。

8.按权利要求7所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述下级过滤器(B)的底部设有脚轮(15)。

9.按权利要求1-8任一项所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：所述下级进气口(2)与被抽气体源连接，所述上级排气口(10)与真空泵连接。