[发明专利]一种靶材材料的制备方法

权利要求书

1.一种制备缓冲层氧化锌硫靶材的方法，其特征为：

将氧化锌中添加硫化锌10.0-45.0wt%,或继续添加第三种氧化物形成粉末材料，再与氧化锆球、纯水、分散剂研磨充分混合，其质量比为：粉末材料: 氧化锆球:纯水:分散剂=0.8-1.2:2.5-3.5:0.20-0.30:0.005；研磨4-24小时后形成浆料，然后将浆料灌入多孔性模具中，经过12-36小时的干燥后,脱膜形成多元氧化物与硫化物混合的理论密度为5.0-5.2 g/cm³的胚体，然后经过800-1200℃和3-24小时的烧结，即形成溅镀用高密度靶材胚体，经切割与表面研磨成真空磁控溅镀用靶材，以阿基米得法量测靶材密度；以玻璃为基材，放入真空磁控溅镀机中，首先真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10^-5-0.9×10^-5torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2×10^-3-5×10^-3torr，先以DC电源溅镀第一层500-800nm厚的Mo薄膜，然后共蒸镀制造第二层1500-2000nm厚的CIGS吸收层薄膜，接着镀制第三层薄膜，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10^-5-0.9×10^-5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2×10^-3-5×10^-3torr，以RF电源功率进行溅镀制程，制得薄膜厚度80-150nm透明缓冲层氧化锌硫薄膜，第四层使用脉冲DC电源及AZO靶材镀制600-1000nm厚的透明导电膜，即完成CIGS太阳能电池的主要结构的薄膜制作，网印最上层银浆电极后进行转换效率测试；

分散剂为18-22g/L的聚丙烯酸钠水溶液；

第三种氧化物为氧化硅0.1-2.0wt%、氧化铋0.1-2.0wt%、氧化钒0.1-2.0wt%、氧化铝0.1-2.0wt%、氧化镓0.1-2.0wt%、氧化硼0.1-2.0wt%中的任意一个。