[发明专利]一种电容型传感器接口电路

权利要求书

1.一种电容型传感器接口电路，其特征在于，包括：

MEMS电容驱动电路，所述MEMS电容驱动电路与MEMS电容连接，用于调制加在MEMS电容上的交流激励信号；

直流稳定电路，所述直流稳定电路与MEMS电容连接和第一级缓冲放大器连接，用于稳定与接口电路接点的直流电压；

第一级缓冲放大器，用于优化输入级的噪声并提供一定的增益；

差分差值放大器，所述差分差值放大器与第一级缓冲放大器连接，用于动态消除直流和交流失调；

解调电路，所述解调电路与差分差值放大器连接，用于将调制的高频信号解调到低频。

2.如权利要求1所述的电容型传感器接口电路，其特征在于：所述MEMS电容驱动电路为方波驱动电路。

3.如权利要求2所述的电容型传感器接口电路，其特征在于：所述方波驱动电路由S1、S2、S3和S4组成，该电路的斩波频率为几十到几百KHZ。

4.如权利要求1所述的电容型传感器接口电路，其特征在于：所述直流稳定电路由直流偏置开关S5和S6组成，所述直流偏置开关每隔16个时钟周期导通一次。

5.如权利要求1所述的电容型传感器接口电路，其特征在于：所述第一级缓冲放大器对信号提供小于10倍的放大倍数。

6.如权利要求1所述的电容型传感器接口电路，其特征在于：所述差分差值放大器还包括dc校准通路和ac校准通路，其中dc校准通路用于消除电路本身的直流失调，具有低通特性；ac校准通路用于校准MEMS传感器本身带来的失调。