[发明专利]一种单晶炉埚杆的修复方法在审
申请号: | 201410618479.5 | 申请日: | 2014-11-06 |
公开(公告)号: | CN104357897A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 刘彬国;何京辉;曹祥瑞;黄瑞强;陈二星 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 李荣文 |
地址: | 054001 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉埚杆 修复 方法 | ||
1.一种单晶炉埚杆的修复方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤一,将断裂的石墨埚杆的杆体(2)和托体(1)的断裂面整形抛光为平面,两平面无缝对接;
步骤二,在杆体(2)和托体(1)的断裂平面的同一位置,分别制作螺纹孔,螺纹孔垂直于断裂平面,托体(1)螺纹孔贯穿托体(1),螺纹孔孔径相同;
步骤三,将杆体(2)和托体(1)的断裂平面对接,用螺钉(3)从托体(1)上部旋入托体(1)和杆体(2)的螺纹孔,固定连接杆体(2)和托体(1),螺钉(3)完全旋入螺纹孔;
步骤四,根据固定好的杆体(2)和托体(1)的总长度a,制作加长件(4),加长件(4)的加长长度为b,使得a和b的和满足所需埚杆的总长度,所述加长件(4)的上部形状尺寸与托体(1)的上部形状尺寸相同,为圆柱形凹槽;加长件(4)的底面形状尺寸与托体(1)的上部形状尺寸相适配。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉埚杆的修复方法,其特征在于所述加长件(4)为圆柱形,外径与托体(1)的外径相同。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉埚杆的修复方法,其特征在于所述螺纹孔为两对,对称分布在杆体(2)和托体(1)的断裂平面。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉埚杆的修复方法,其特征在于所述加长件(4)为石墨材质。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉埚杆的修复方法,其特征在于所述螺钉(3)为石墨材质。
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