[发明专利]一种测量自由曲面面型的装置和方法

权利要求书

1.一种测量自由曲面面型的装置，其特征在于，包括：

电致发光膜照明部分(8)和光学成像测量部分(9)；

所述的电致发光膜照明部分(8)由待测样品(1)、镀在样品(1)表面的电致发光薄膜(2)和微电极(3)组成；

所述的光学成像测量部分(9)沿收集光信号传播方向依次为物镜(4)、滤光片(5)、管镜(6)和CCD(7)。

2.根据权利要求1所述的测量自由曲面面型的装置，其特征在于，所述的电致发光薄膜由厚度均匀的阴极层、发光层和透明阳极层组成，总厚度不超过4μm，发光层厚度不超过1μm，所述的发光层为有机物层，由电子传输层、单色有机发光层和空穴注入层组成，所述电致发光膜由平行的电致发光条组成，相邻两个电致发光条之间有无镀膜的、宽度小于5nm的微小空白区域，每个电致发光条两端均有微电极(3)，阴极层与微电极(3)负极相连，透明阳极层与微电极(3)正极相连。

3.在权利要求1所述的测量自由曲面面型的装置上实现的测量自由曲面面型的方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，在待测样品(1)表面生成电致发光薄膜(2)，所述的电致发光薄膜由厚度均匀的阴极层、发光层和透明阳极层组成，总厚度不超过4μm，发光层厚度不超过1μm，所述的发光层为有机物层，由电子传输层、单色有机发光层和空穴注入层组成，所述电致发光膜由平行的电致发光条组成，相邻两个电致发光条之间有无镀膜的、宽度小于5nm的微小空白区域，每个电致发光条两端均有微电极(3)，阴极层与微电极(3)负极相连，透明阳极层与微电极(3)正极相连；

第二步，调节物镜(4)与待测样品(1)之间的距离，使待测样品(1)表面某层结构的像面与CCD感光元件像面重合，设置物镜(4)总运动行程a，物镜(4)步进距离b，令变量i等于0；

第三步，令物镜(4)沿轴向运动一个距离b；

第四步，从左到右方向，给位于奇数位置的电致发光条的微电极(3)通电，使对应的电致发光条发光，完成待测样品(1)表面一部分电致发光膜的发光工作，拍摄此层样品(1)的图像，获取该层结构的奇数区域二维数据D_xym；

第五步，从左到右方向，给位于偶数位置的电致发光条的微电极(3)通电，使对应的电致发光条发光，完成待测样品(1)表面另一部分电致发光膜的发光工作，拍摄此层样品(1)的图像，获取该层结构的奇数区域二维数据D_xyn；

第六步，将D_xym和D_xyn按照奇数区域和偶数区域组合成二维数据D_xyi，令变量i加1；

第七步，判断i×b是否大于或等于a，如果是则进入第八步，否则重复第三步到第六步；

第八步，将所有轴向位置测量所得的二维数据D_xyi组成三维矩阵，对于每个像素点xy沿z抽取一维数组，找到该数组中最大值点，并记录该最大值所对应的轴向位置；

第九步，所有xy像素所记录的轴向位置及xy像素对应的位置组合，从而重构出样品(1)表面面型。

4.根据权利要求3所述的一种测量自由曲面面型的方法，其特征在于，还包括第十步，清洗掉待测样品(1)表面电致发光薄膜(2)和微电极(3)。