[发明专利]编码器、具有编码器的电机、和伺服系统

权利要求书

1.一种编码器，包括：

分别包括沿着测量方向设置的多个反射狭缝的多个狭缝轨道；

被构成为向所述多个狭缝轨道射出扩散光的点光源；

被构成为接收被具有增量图案的所述狭缝轨道反射的光的第一受光阵列；

第二受光阵列，所述第二受光阵列被构成为接收被具有比其他增量图案的间距更长的间距的增量图案的所述狭缝轨道反射的光，并且被配置在配置有所述点光源、而不是配置有所述第一受光阵列的方向侧的位置处；以及

第三受光阵列，所述第三受光阵列被构成为接收被具有绝对图案的所述狭缝轨道反射的光，并且被配置在配置有所述点光源、而不是配置有所述第一受光阵列的方向侧的位置处。

2.根据权利要求1所述的编码器，其中：

所述点光源被配置在由所述第二受光阵列和所述第三受光阵列组成的阵列与所述第一受光阵列之间。

3.根据权利要求2所述的编码器，其中：

所述测量方向是以中心轴线为中心的圆周方向；以及

所述第二受光阵列、所述第三受光阵列和所述点光源被配置在比所述第一受光阵列更靠所述中心轴线侧。

4.根据权利要求3所述的编码器，其中：

从圆的径向方向的外部向所述中心轴线，所述点光源以及所述第一受光阵列至所述第三受光阵列按照所述第一受光阵列、所述点光源、所述第三受光阵列、和所述第二受光阵列的顺序配置。

5.根据权利要求3所述的编码器，其中：

从圆的径向方向的外部向所述中心轴线，所述点光源以及所述第一受光阵列至所述第三受光阵列按照所述第一受光阵列、所述点光源、所述第二受光阵列、和所述第三受光阵列的顺序配置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的编码器，其中：

所述第三受光阵列被构成为夹着所述点光源地、实际上对称地配置的两个轨道的受光阵列。

7.根据权利要求1所述的编码器，其中：

所述点光源被配置在所述第二受光阵列和所述第三受光阵列之间。

8.根据权利要求7所述的编码器，其中：

所述测量方向是以中心轴线为中心的圆周方向；以及

所述第一受光阵列被配置在比所述第二受光阵列、所述第三受光阵列和所述点光源中的任一者更靠圆的径向方向的外部。

9.根据权利要求8所述的编码器，其中：

从圆的径向方向的外部向所述中心轴线，所述点光源以及所述第一受光阵列至所述第三受光阵列按照所述第一受光阵列、所述第二受光阵列、所述点光源、和所述第三受光阵列的顺序配置。

10.根据权利要求8所述的编码器，其中：

从圆的径向方向的外部向所述中心轴线，所述点光源以及所述第一受光阵列至所述第三受光阵列按照所述第一受光阵列、所述第三受光阵列、所述点光源、和所述第二受光阵列的顺序配置。

11.一种具有编码器的电机，包括：

可动部件相对于定子移动的线性电机、或者转子相对于定子旋转的旋转型电机；以及

根据权利要求1、2和7中任一项所述的编码器，所述编码器被构成为检测所述可动部件或所述转子的位置和速度中的至少一者。

12.一种伺服系统，包括：

可动部件相对于定子移动的线性电机、或者转子相对于定子旋转的旋转型电机；

根据权利要求1、2和7中任一项所述的编码器，所述编码器被构成为检测所述可动部件或所述转子的位置和速度中的至少一者；以及

控制器，所述控制器被构成为根据所述编码器的检测结果控制所述线性电机或所述旋转型电机。