[发明专利]一种容易实现的硅片分类机

权利要求书

1.一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：由安装在分类机中部的传输机械手单元和控制机械手单元运行的电气控制单元；两套安装在分类机机架内两侧由电机驱动的硅片对中机构及电气控制单元；由摄像头、激光头、光检测装置组成的两套光学系统以及一台工业计算机与接口硬件、控制软件及识别软件；其中，所有传感器和控制单元通过硬件接口与计算机相连接。

2.如权利要求1一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：所述的机械手由电机、齿轮传动机构构成的手臂伸缩机构、旋转机构、升降机构及机械手臂以及与伸缩臂相连接的真空吸嘴托盘组成。

3.如权利要求1一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：所述的光学系统由摄像头及其支架、支架上的激光器、激光束强度检测头、硅片标识照亮用LED光源及其电路电缆组成。

4.如权利要求3一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：所述的每套光学系统设置了能读取标识在硅片正面或反面上、下两个摄像头。

5.如权利要求2一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：所述的机械手的机械臂传动机构采用的是同步轮和同步带。

6.如权利要求5一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：所述的机械手的驱动电机除升降电机和手爪旋转电机采用步进电机外，手臂旋转电机和手臂伸缩电机均采用交流伺服电机。