[发明专利]一种纯二氧化硅松散体玻璃化掺氟方法在审
申请号: | 201410597846.8 | 申请日: | 2014-10-30 |
公开(公告)号: | CN104402213A | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 马静;杨军勇;冯高锋;章海峰;葛锡良 | 申请(专利权)人: | 浙江富通光纤技术有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所(普通合伙) 33206 | 代理人: | 胡龙祥 |
地址: | 311422 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二氧化硅 松散 玻璃化 方法 | ||
技术领域
本发明涉及光纤预制棒的制造方法,特别是涉及一种纯二氧化硅松散体玻璃化掺氟方法。
背景技术
光纤预制棒为拉制光纤的原材料,其基本结构包括芯层以及具有更低折射率的包层。SiO2是用来制造光纤预制棒的主要的玻璃形成体,通过掺杂可以改变其折射率从而形成波导结构。一般在芯层中掺入GeO2,使芯层的折射率高于包层纯石英玻璃的折射率。芯层和包层折射率的相对差值采用相对折射率差Δ来表示,芯层和包层的折射率分别为 和,相对折射率差Δ的值由式(1)确定:
…………(1)
有时为了增加光纤的抗弯曲性能,需要通过增加光纤芯层中的GeO2含量来增大Δ值。但随着GeO2含量的提高,会导致光纤瑞利散射的增加,从而引起光纤的衰减增加。如果掺入的GeO2含量过高,就容易形成GeO气体,随之产生气泡。这对于最终光纤的传输性能和强度都是不利的。
由于上述原因,为了进一步降低光纤的衰减,纯二氧化硅芯光纤是目前最佳的方案,为了获得与普通单模光纤同样的相对折射率差Δ,需要降低光纤包层的折射率,掺入硼和氟都可以降低二氧化硅的折射率,然而,B2O3在1.2μm存在较大的拖尾吸收,不利于损耗的降低,因此,最好采用掺氟来降低构成光纤外包层的二氧化硅的折射率。
目前制造光纤预制棒的方法包括管内法(MCVD法和PCVD法,MCVD法叫改进的化学汽相沉积法,是Modified Chemical Vapour Deposition的简称,PCVD法叫等离子体激活化学汽相沉积法,是Plasma activated Chemical Vapour Deposition的简称)以及管外法(VAD法和OVD法,VAD法叫轴向汽相沉积法,是Vapour phase Axial Deposition的简称,OVD法叫棒外化学汽相沉积法,是Outside Chemical Vapour Deposition的简称)。管外法不受衬管尺寸的限制,沉积速度快,生产效率高,适合于大尺寸光纤预制棒的规模化生产。已经知道,采用火焰水解法可以将气态含氟化合物在沉积时加入石英玻璃中,但该方法存在沉积效率和掺杂浓度低的缺点。其原因可能为:首先,含氟的SiO2颗粒并不是在喷灯火焰中马上生成的,而是随着氟从喷灯到预制棒松散体迁移的过程中扩散进入SiO2颗粒的。扩散需要一定的时间,同时由于进入火焰反应的氟容易扩散到周围环境中导致SiO2颗粒周围的氟分压非常低。其次,SiO2颗粒周围的一部分氟与火焰中的OH-反应生成HF,因此仅有少部分的氟掺入到了SiO2颗粒中。此外,HF对玻璃颗粒具有腐蚀作用,容易与火焰水解反应生成的SiO2颗粒反应:
SiO2(s)+2HF(g)→SiOF2(g)+H2O(g)…………(2)
SiO2(s)+4HF(g)→SiF4(g)+2H2O(g)…………(3)
式中的(s)和(g)分别表示固态和气态。
这些反应阻止了SiO2颗粒的生长,同时降低了SiO2颗粒的沉积量。因此,随着含氟化合物流量的增加,沉积效率和沉积速度逐步降低,最终将不产生沉积。另一方面,由于氟的高扩散性,沉积得到的含氟松散体在烧结过程中,将流失40%-50%的氟,使折射率剖面结构遭到破坏,严重影响拉制后光纤的性能。
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