[发明专利]一种白光发光二极管LED的制作方法及白光LED有效
| 申请号: | 201410597597.2 | 申请日: | 2014-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN104319343A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
| 发明(设计)人: | 尹灵峰;谢鹏;韩涛;徐谨;张威;王江波;刘榕 | 申请(专利权)人: | 华灿光电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/46 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
| 地址: | 430223 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 白光 发光二极管 led 制作方法 | ||
1.一种白光发光二极管LED的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在基板上形成感光性胶体凸点的阵列,每个所述感光性胶体凸点中掺有荧光粉;
在所述阵列和所述基板上形成AlN膜,所述感光性胶体凸点在形成所述AlN膜的过程中受热收缩,与所述AlN膜分离;
在所述AlN膜上依次生长N型层、发光层、以及P型层;
在所述P型层上开设从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽;
在所述P型层上形成金属反射层;
在所述金属反射层上设置P电极,在所述N型层上设置N电极。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述在基板上形成感光性胶体凸点的阵列,每个所述感光性胶体凸点中掺有荧光粉,包括:
在基板上涂抹一层感光性胶体,所述感光性胶体中掺有荧光粉;
采用黄光微影技术,将所述一层感光性胶体分为若干感光性胶体凸点,从而在所述基板上形成所述感光性胶体凸点的阵列。
3.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述感光性胶体凸点呈三角锥形或蒙古包形。
4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述感光性胶体凸点的最大直径为1-10μm,所述感光性胶体凸点的高度为1-10μm,两个所述感光性胶体凸点之间的最小距离为1-20μm。
5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述荧光粉为钇铝石榴石YAG铝酸盐荧光粉、氮化物荧光粉或者硫化物荧光粉。
6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述荧光粉为YAG铝酸盐荧光粉中的YAG:Ce3+荧光粉,且YAG与Ce3+的比例大于或等于9:1。
7.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述在所述阵列和所述基板上形成AlN膜,所述感光性胶体凸点在形成所述AlN膜的过程中受热收缩,与所述AlN膜分离,包括:
在所述阵列和所述基板上沉积一层Al膜;
在设定温度下通入NH3,对所述Al膜进行氮化处理,从而在所述阵列和所述基板上形成所述AlN膜,所述感光性胶体凸点在形成所述AlN膜的过程中受热收缩,与所述AlN膜分离。
8.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述设定温度为500-1500℃。
9.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述AlN膜的厚度为1-10000nm。
10.一种白光发光二极管LED,所述白光LED包括基板、依次层叠在所述基板上的N型层、发光层、P型层、金属反射层、以及设置在所述金属反射层的上的P电极和设置在所述N型层上的N电极,所述白光LED上设有从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽,其特征在于,所述白光LED还包括感光性胶体凸点的阵列和AlN膜,所述感光性胶体凸点的阵列和所述AlN膜依次层叠在所述基板和所述N型层之间,每个所述感光性胶体凸点中掺有荧光粉,所述感光性胶体凸点与所述AlN膜分离。
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