[发明专利]一种磁控管及半导体加工设备

权利要求书

1.一种磁控管，包括多个磁体和第一背板，所述第一背板用于在其上以预设排列方式固定多个磁体，其特征在于，各个所述磁体采用可拆卸连接方式直接固定在所述第一背板上，所述可拆卸连接方式包括螺纹连接方式，在所述磁体上与所述第一背板相接触的表面上设置凹部，所述凹部的内侧壁设置有螺纹。

2.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，在所述第一背板上和所述磁体相接触的表面上设置有通孔，所述通孔与所述凹部的位置相对应，借助螺钉穿过所述通孔与所述凹部螺纹连接，以实现将所述磁体固定在所述第一背板上。

3.根据权利要求2所述的磁控管，其特征在于，所述通孔为变径孔，且与所述螺钉相匹配，以使所述螺钉位于所述通孔内。

4.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，在所述第一背板上和每个所述磁体相接触的表面上设置有凸部，所述凸部与所述凹部的位置相对应，

所述凸部的外侧壁和所述凹部的内侧壁上均设置有螺纹，以实现所述凸部与所述凹部螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的磁控管，其特征在于，所述凸部和所述凹部对应每个所述磁体的中心轴设置；或者

所述凸部或所述凹部偏离每个所述磁体的中心轴设置。

6.根据权利要求2所述的磁控管，其特征在于，所述通孔和所述凹部对应每个所述磁体的中心轴设置；或者

所述通孔或所述凹部偏离每个所述磁体的中心轴设置。

7.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，每个所述磁体由套筒、以及与套筒形成封闭空间的上盖板和下盖板、以及在封闭空间内设置的磁性材料组成；其中，所述套筒材料不导磁材料制成，所述上盖板和下盖板采用导磁材料制成；

每个所述磁体的上盖板或下盖板与所述第一背板固定。

8.根据权利要求7所述的磁控管，其特征在于，对应每个磁体，还包括采用导磁材料制成的第二背板，在所述磁体的未与所述第一背板固定的上盖板或下盖板上形成有凸部，在所述第二背板上设置有与所述凸部对应的通孔，所述凸部的顶端端面穿过所述通孔，且与所述第二背板的上表面相互平齐。

9.一种磁控溅射设备，包括靶材以及设置于靶材上方的磁控管，其特征在于，所述磁控管采用权利要求1-8中任意一项所述的磁控管。