[发明专利]法兰机构

说明书

技术领域

本发明涉及法兰机构。

背景技术

在对半导体晶片等被加工物进行精密的切削加工时，广泛使用被称作切割装置的切削装置。在切割装置中，利用被装配在主轴的前端的法兰机构夹持的切削刀具来切削被加工物(例如，参照专利文献1)。法兰机构构成为包括以下部分：固定法兰，其固定于主轴；按压法兰，其在与固定法兰之间夹持切削刀具；以及固定螺母，其将按压法兰固定于固定法兰。

关于法兰机构，在形成于固定法兰的、与主轴的轴线平行地突出的毂部贯插于切削刀具的贯插孔的状态下，将按压法兰的装配孔装配于毂部，将固定螺母与毂部的外螺纹螺合，由此切削刀具被固定法兰和按压法兰夹持并固定。并且，在法兰机构中，按压法兰的装配孔的内径设定得比毂部的外径稍大至毂部能够插入于贯插孔中的程度。这里，装配孔的内径与毂部的外径的差被设定得小，以便使固定法兰的轴线和按压法兰的轴线位于同一轴线上。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2005－191096号公报

在这样的法兰机构中，装配孔的内径与毂部的外径的差是微小的，因此存在如下问题：在将按压法兰装配于固定法兰时，若按压法兰相对于固定法兰稍微倾斜，则会发生装配孔和毂部容易嵌合的、所谓的卡住。并且，法兰机构是要求组装精度的，因此，若由于卡住而对装配孔的内周或毂部的外周受造成损伤，则可能会不满足其组装精度，需要修理或更换。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种法兰机构，能够防止在装配孔和毂部之间发生卡住。

为了解决上述课题并达成目的，本发明为一种法兰机构，所述法兰机构固定于被支承成能够旋转的主轴的前端，夹持对被加工物进行切削加工的环状的切削刀具，所述法兰机构的特征在于，所述法兰机构具有：固定法兰，其具有：圆筒状的毂部，其在前端部的外周形成有外螺纹；刀具装配部，其形成于毂部的轴向中间部，对切削刀具的内周面进行支承；以及支承法兰部，其形成为从毂部的轴向后端部向半径方向外侧突出，对切削刀具的一个侧面进行支承；环状的按压法兰，其在中心具有装配孔，该装配孔供毂部插入，该装配孔的内周支承于刀具装配部，通过该按压法兰与固定法兰夹持切削刀具；以及环状的固定螺母，其与毂部的外螺纹螺合，将按压法兰固定于固定法兰，夹持切削刀具的插套于毂部的按压法兰的装配孔的内周具有：引导部，其从切削刀具侧朝向固定螺母侧缩径，对按压法兰向毂部的插套进行引导；避让部，其从固定螺母侧朝向切削刀具侧缩径；以及支承棱部，其形成于引导部和避让部之间，按压法兰的支承棱部与固定法兰的刀具装配部接触而支承于所述刀具装配部。

并且，在上述法兰机构中，优选引导部形成为曲面。

发明效果

根据本发明，在使内周扩径的引导部和避让部之间形成的支承棱部与固定法兰的刀具装配部接触，由此按压法兰被支承于刀具装配部，因此起到下述效果：能够减小刀具装配部相对于内周的接触面积，能够抑制在装配孔和毂部之间发生卡住。

附图说明

图1是示出实施方式的切削装置的结构例的立体图。

图2是示出实施方式的法兰机构的结构例的剖视图。

图3是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解立体图。

图4是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解剖视图。

图5是示出曲面部的剖视图。

图6是示出按压法兰相对于固定法兰倾斜的状态的剖视图。

图7是示出利用实施方式的法兰机构夹持厚度大的切削刀具的状态的剖视图。

标号说明

11：主轴；

20：切削刀具；

21a：内周面；

211a：一个侧面；

30：法兰机构；

31：固定法兰；

311：毂部；

311a：刀具装配部；

311d：外螺纹；

312：主轴装配部；

313：支承法兰部；

32：按压法兰；

321：装配孔；

321a：内周；

323a：引导部；

323b：支承棱部；

323c：避让部；

33：固定螺母。

具体实施方式