[发明专利]光刻胶剥离液制备方法有效
| 申请号： | 201410574837.7 | 申请日： | 2014-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104330959B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李虎宝;翁蕾蕾 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司;江南大学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210 | 代理人： | 唐纫兰,隋玲玲 |
| 地址： | 214421 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶剥离液制备方法，它是在配料罐中加入甲苯或二甲苯为溶剂，向其中通入苯酚，混合；其特征在于，它还包括：
将乳化剂用水稀释，然后其中加入络合剂，混合均匀后，过滤后，加入至配料罐中，混合后，过滤，得成品；
其中：
乳化剂为OP-10与TX-100按0.5-2:1混合而成，乳化剂的加入质量为苯酚的0.1-0.6%；
络合剂为二乙烯三胺五乙酸与羟乙基乙烯二胺三乙酸按1:0.5-2的质量比混合而成，络合剂的加入质量为乳化剂的3-8% 。
2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液制备方法，其特征在于：所述乳化剂为OP-10与TX-100按2:1混合而成。
3.根据权利要求1或2所述的光刻胶剥离液制备方法，其特征在于：所述乳化剂的加入质量为苯酚的0.2%。
4.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液制备方法，其特征在于：所述络合剂为二乙烯三胺五乙酸与羟乙基乙烯二胺三乙酸按1:1的质量比混合而成。
5.根据权利要求1或2或4所述的光刻胶剥离液制备方法，其特征在于：所述络合剂的加入质量为乳化剂的5% 。
6.根据权利要求3所述的光刻胶剥离液制备方法，其特征在于：所述络合剂的加入质量为乳化剂的5% 。
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