[发明专利]采用双可调光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统

权利要求书

1.采用双可调激光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统，其特征在于：采用两个可调激光源交替跟踪法布里-珀罗干涉仪谐振频率变化，具体包括稳频激光源(1)、可调激光源A(2)、可调激光源B(3)、第一偏振分光镜(4a)、第二偏振分光镜(4b)、第三偏振分光镜(4c)、第四偏振分光镜(4d)、第一平面反射镜(5a)、第二平面反射镜(5b)、参考反射镜(6)、测量反射镜(7)、第一光电接收器(8a)、第二光电接收器(8b)、第一分光镜(9a)、第二分光镜(9b)、第三分光镜(9c)、第一高速光电接收器(10a)、第二高速光电接收器(10b)、频率计数器A(11)和频率计数器B(12)；

上述各组成部分的连接关系为：可调激光源A(2)的右侧依次为同光轴的第一偏振分光镜(4a)、第二偏振分光镜(4b)、参考反射镜(6)、测量反射镜(7)、第三偏振分光镜(4c)和第一光电接收器(8a)；其中，参考反射镜(6)和测量反射镜(7)组成法布里-珀罗腔；第三偏振分光镜(4c)的正上方为第二光电接收器(8b)，第二光电接收器(8b)与第三偏振分光镜(4c)的中心连线垂直于可调激光源A(2)的光轴；可调激光源A(2)的正上方为可调激光源B(3)，可调激光源B(3)的右侧依次为同光轴的第四偏振分光镜(4d)和第一平面反射镜(5a)；第四偏振分光镜(4d)与第二偏振分光镜(4b)中心对齐，第一平面反射镜(5a)对应的纵向位置介于第二偏振分光镜(4b)和参考反射镜(6)之间；可调激光源A(2)的下方为稳频激光源(1)，稳频激光源(1)的右侧依次为同轴的第一分光镜(9a)、第二分光镜(9b)、第二高速光电接收器(10b)和频率计数器B(12)；第一分光镜(9a)对应的纵向位置在第一偏振分光镜(4a)的左侧，第二分光镜(9b)位于第一平面反射镜(5a)的正下方，与第一平面反射镜(5a)中心对齐；第一分光镜(9a)的正下方为第二平面反射镜(5b)，第二平面反射镜(5b)的右侧依次为同轴的第三分光镜(9c)、第一高速光电接收器(10a)和频率计数器A(11)；第三分光镜(9c)位于第一偏振分光镜(4a)的正下方。

2.如权利要求1所述的采用双可调光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统，其特征在于：从可调激光源A(2)发出的光束，被第一偏振分光镜(4a)分为两束，透射光束经过第二偏振分光镜(4b)后射向由参考反射镜(6)和测量反射镜(7)组成的法布里-珀罗腔，透过测量反射镜(7)的光束透过第三偏振分光镜(4c)，射向第一光电接收器(8a)；被第一偏振分光镜(4a)反射的光束，被下方的第三分光镜(9c)反射，射向第一高速光电接收器(10a)；

从可调激光源B(3)发出的光束，被第四偏振分光镜(4d)分为两束，反射光束被下方的第二偏振分光镜(4b)反射，射向由参考反射镜(6)和测量反射镜(7)组成的法布里-珀罗腔，透过测量反射镜(7)的光束被第三偏振分光镜(4c)反射，射向第二光电接收器(8b)；透过第四偏振分光镜(4d)的光束，经第一平面反射镜(5a)反射后，被下方的第二分光镜(9b)反射，射向第二高速光电接收器(10b)；

从稳频激光器(1)发出的光束，被第一分光镜(9a)分为两束，透射光束透过右侧的第二分光镜(9b)，与来自可调激光源B(3)的光束相遇，射向第二高速光电接收器(10b)；被第一分光镜(9a)反射的光束，经第二平面反射镜(5b)反射后透过第三分光镜(9c)，与来自可调激光源A(2)的光束相遇，射向第一高速光电接收器(10a)；第一高速光电接收器(10a)的输出信号送至频率计数器A，第二高速光电接收器(10b)的输出信号送至频率计数器B。