[发明专利]Mo靶坯及Mo靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201410567495.6 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN105525260A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李超 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mo 制作方法 | ||
1.一种Mo靶坯的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供Mo粉末；
将所述Mo粉末进行预压处理；
将预压处理后的Mo粉末进行脱气处理；
将脱气处理后的Mo粉末进行热等静压处理，形成Mo靶坯。
2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述预压处理包括：将所述 Mo粉末装入包套内，然后将装有Mo粉末的包套放在油压机上进行压实。
3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述预压的压力为100吨， 保压时间2min～5min。
4.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述脱气处理包括：
将压实后的包套抽成真空至真空度高于2×10-3Pa，以对所述Mo粉末进 行脱气；
将脱气后的包套进行闭气处理。
5.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述脱气处理还包括：将抽 真空后的包套进行加热至250℃～500℃，然后保温2H～4H。
6.如权利要求5所述的制作方法，其特征在于，对抽真空后的包套进行加热 的过程中，维持所述包套内的真空度高于2×10-3Pa。
7.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述包套上连接脱气管，所 述脱气管与包套内部连通；
脱气处理时，将所述脱气管与真空设备相连。
8.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述热等静压的温度大于 1300℃且小于等于1400℃，压力大于150Mpa且小于等于200Mpa，保温 时间为3H～6H。
9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述热等静压过程在热等静 压炉中进行。
10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，保温完成后，将所述热等静 压炉冷却到150℃以下，取出所述包套；
然后去除所述包套，得到所述Mo靶坯。
11.一种Mo靶材的制作方法，其特征在于，包括：获取权利要求1-10任一项 所述的Mo靶坯，对所述Mo靶坯进行机械加工，得到Mo靶材。
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