[发明专利]一种固结磨料化学机械抛光钽的加工方法

权利要求书

1.一种固结磨料化学机械抛光钽的加工方法，其特征是：采用固结磨料抛光垫对钽进行抛光加工，加工过程中控制抛光压力在10~100 kpa之间，抛光垫的转速控制在50~150rpm之间，抛光液的pH值调节在8~11之间，抛光液的温度控制在20~30℃范围内，抛光液流速在80~150 ml/min之间，直至表面质量满足设定要求。

2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于所述的固结抛光垫为氧化铈固结磨料抛光垫，固结磨料的粒度不大于5微米。

3.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于所述的抛光液为不含磨料的去离子水、表面活性剂、络合剂和pH调节剂组成，表面活性剂的体积分数为0.1%-1.0%，络合剂的质量分数为0.5%-5.0%，余量为去离子水和pH调节剂。

4.根据权利要求1或3所述的加工方法，其特征在于所述的抛光液的表面活性剂是烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚或壬基酚聚氧乙烯醚中的一种或一种以上的组合。

5.根据权利要求1或3所述的加工方法，其特征在于所述的抛光液的络合剂为乙二胺四甲叉磷酸钠、酒石酸或三乙醇胺中的一种或一种以上的组合。

6.根据权利要求1或3所述的加工方法，其特征在于所述的抛光液的pH值调节剂为磷酸、乙酸、柠檬酸、氨水、羟基胺、四甲基氢氧化铵或乙二胺中的一种或一种以上的组合。