[发明专利]液体喷射头和液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及向被记录介质喷射液滴并进行记录的液体喷射头和液体喷射装置。

背景技术

近年来，利用如下的喷墨方式的液体喷射头：向记录纸等排放墨滴并记录字符、图形；或者向元件基板的表面排放液体材料来形成功能性薄膜。该方式将墨、液体材料等液体从液体罐经由供给管引导至通道，向在通道填充的液体施加压力，并从与通道连通的喷嘴排放液体。在排放液体时，移动液体喷射头、被记录介质来记录字符、图形；或者形成预定形状的功能性薄膜。

专利文献1记载了这种液体喷射头。图8是专利文献1所记载的液体喷射头的分解立体图。液体喷射头201包括：压电体基板202；接合在压电体基板202的表面SF的盖板203；接合在压电体基板202的前端FE的喷嘴板216。在压电体基板202的表面SF，虚设通道212与排放通道211交替排列。盖板203包括液体供给室214和与排放通道211连通的狭缝215，狭缝215仅与排放通道211连通，不与虚设通道212连通。喷嘴板216包括喷嘴217，喷嘴217与在前端FE开口的排放通道211连通。排放通道211与虚设通道212由分隔壁206分离，在分隔壁206的侧面形成驱动电极207。驱动电极207与在压电体基板202的后端RE附近的表面SF形成的电极端子电连接。在后端RE附近的表面SF连接有柔性电路基板204，从外部供给驱动信号。供给至液体供给室214的液体经由狭缝215流入至排放通道211。若向驱动电极207提供驱动信号则分隔壁206变形，排放通道211的容积急剧变化并从喷嘴217排放液滴。

专利文献2记载了通道内的液体进行循环的流通类型的液体喷射头。流通类型在液体中混入有气泡、异物的情况下，也能够将其迅速排出至通道外。因此，不使用罩结构、服务站就能够实施维护，能够减少维护时的液体的消耗量，抑制运行成本。进一步，能够将由于排放不良而浪费地消耗的被记录介质抑制在最小限度。

图9是专利文献2所示的液体喷射头的分解立体图。液体喷射头包括：将2枚压电元件重叠而构成3个流路90、92、94的PZT片88、89；形成与流路90和流路94连通的开口，阻塞流路92的掩模板100；跨流路92形成使流路90和流路94连通的开口部的开口板66；形成与开口板66的开口部连通的喷嘴102的喷嘴板64。液体如箭头52所示，从流路90经过开口板66的开口部流至流路94。即，液体在流路92的周围循环。在2个壁96、98的流路92侧的侧面设有线电极，在流路90、94侧的侧面设有接地电极，利用这些电极来驱动壁96、98，从而从喷嘴102排放出小液滴。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-101437号公报；

专利文献2：日本特表2003-505281号公报。

发明内容

本发明要解决的问题

近年来，排放通道211、虚设通道212的槽宽度、槽间隔变小，为100μm～20μm。因此，例如在专利文献1的液体喷射头中，需要将喷嘴板216的喷嘴217与在前端FE开口的排放通道211高精度位置对齐。特别是，在使用例如金属板等的不透明材料作为喷嘴板216的情况下，在将喷嘴板216接合在前端FE时，不能通过喷嘴板216目视到排放通道211，难以准确进行位置对齐。例如，若喷嘴板216与压电体基板202以外形为基准进行位置对齐，则位置精度会下降。另外，即使欲通过喷嘴217与在前端FE开口的排放通道211对齐，也不能区别出通过喷嘴217目视的开口是排放通道211的开口还是虚设通道212的开口。

同样的问题在压电体基板202的表面SF形成的排放通道211设置盖板203的情况下也会发生。由于盖板203通常不透明，因此在接合在表面SF时不能通过盖板203目视到排放通道211、虚设通道212。因此，在与通过狭缝215能看到的槽校准的情况下，有时不能区别出通过狭缝215看到的槽是排放通道211还是虚设通道212。

另外，在专利文献2所记载的液体喷射头中，由于使用掩模板100、开口板66和喷嘴板64成为液体循环型，因此构成要素多，各板的位置对齐变得极其麻烦。另外，若欲将这些构成要素以外形为基准贴合在PZT片88、89，则难以高精度位置对齐。

用于解决问题的方案