[发明专利]用于激光自混合干涉系统的反馈光强度自动调节装置

权利要求书

1.一种用于激光自混合干涉系统的反馈光强度自动调节装置，包括：激光器(18)、分光镜(1)、中性可调衰减片(5)、第一反光镜(7)、第二反光镜(8)、第三反光镜(9)、光电探测器(2)和处理器(4)，其特征在于，所述分光镜(1)、中性可调衰减片(5)和待测目标(10)依次设置在激光器(18)的出射光的光轴上，所述分光镜为1:1分光镜，能够将入射光分为两束强度相同、传播方向垂直的光；所述第一反光镜(7)固定在所述待测目标(10)的表面上，所述第二反光镜和第三反光镜设置在一支架上，且其位置关系设置为通过第二反光镜(8)和第三反光镜(9)将第一反光镜(7)反射的来自激光器的光反射到分光镜(1)，且反射光的方向与出射光方向垂直；所述反射光经过分光镜后，一部分经分光镜(1)反射后回到所述激光器(18)，与激光器(18)腔内的光线发生混合干涉；另一部分方向不变，进入所述光电探测器(2)，光电探测器(2)将信号输出给所述处理器(4)，处理器(4)对光电探测器探测到的光信号强度进行处理，并生产相应的控制信号，通过该控制信号控制所述中性可调衰减片(5)；所述激光器由驱动电源(17)驱动。

2.如权利要求1所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：安装在待测目标(10)表面的第一反射镜(7)和支架上的第二反射镜(8)和第三反光镜(9)均采用直角边为45°的反射镜，并且第一、第二、第三反射镜和分光镜(1)的位置构成一个矩形，第一、第二、第三反射镜和分光镜(1)分别位于矩形的四个角上。

3.如权利要求2所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：激光器(18)的出射光在通过分光镜(1)时，也会被分为两部分，一部分与激光轴线成90°向下射向反光镜(9)，为了防止这部分光对分离光路中的光产生影响，在分光镜(1)和反光镜(9)之间放置一个光隔离器(6)，对来自分光镜(1)的光进行隔离。

4.如权利要求1-3之一所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：所述装置还包括隔离放大电路(17)、步进电机(13)和传动机构(12)，所述步进电机(13)通过所述传动机构(12)连接所述中性可调衰减片(5)，所述处理器产生的所述控制信号为脉冲信号，且所述脉冲信号经过隔离放大电路(17)放大后输出到步进电机(13)，控制步进电机运动，从而控制中性可调衰减片(5)。

5.如权利要求4所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：所述处理器(4)为单片机、DSP、或FPGA。

6.如权利要求5所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：所述光电探测器(2)的输出信号经过一个输入电路(3)后输出给所述处理器(4)。

7.如权利要求4所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：所述处理器(4)对比光电探测器(2)探测到的光强度P与目标光强度强度P₀，并根据对比结果向外输出脉冲信号，输出的脉冲信号通过所述隔离放大电路(14)进行放大，控制步进电机(13)做相应的转动；如果P>P₀，处理器(4)输出正向脉冲控制步进电机(13)正转，增大所述中性可调衰减片(5)的衰减率，进而减小激光的反馈强度；如果P<P₀，处理器(4)输出反向脉冲控制步进电机(13)反转，减小所述中性可调衰减片(5)的衰减率，进而增大激光的反馈强度。

8.如权利要求7所述的反馈光强度自动调节装置，其特征在于：利用传动机构(12)将所述步进电机(13)与所述中性可调衰减片(5)的可动支架相连接，所述传动机构(12)为齿轮传动机构。