[发明专利]一种调控铁磁性能的铁电场效应管的制备方法

权利要求书

1.一种调控铁磁性能的铁电场效应管的制备方法，其特征包括以下步骤：

(1)采用激光脉冲沉积在100取向的SrTiO₃衬底上生长10nm厚的La_x(CaSr)₍₁-_x)MnO₃(以下简称LCSMO)薄膜,其中衬底材料SrTiO3衬底为100取向的氧化物单晶，衬底的表面粗糙度低于2纳米，铁磁材料LCSMO薄膜的厚度为10nm；

(2)在LCSMO薄膜表面经过旋涂光刻胶、烘烤、紫外光曝光、显影、烘烤、Ar离子刻蚀等步骤得到所需的霍尔结构的图形；再次经过光刻步骤将霍尔结构的引脚溅射生长Au电极；

(3)将有机铁电聚合物溶液滴均匀铺入朗缪尔-布罗基特设备已经注入静置超纯水的液体槽中，待有机铁电聚合物均匀分布在液面，并通过挤压成膜的液面，通过控制液面表面压力使薄膜成膜连续；将连续薄膜通过水平转移朗缪尔-布罗基特方法转移至有LCSMO图形的衬底上，通过逐层转移一定厚度的PVDF基有机铁电聚合物薄膜，并将生长的薄膜经过退火处理，薄膜的退火温度110-135℃，维持4小时后，冷却至室温，便得到高结晶性PVDF基铁电聚合物薄膜；

(4)在已经生长好PVDF基铁电聚合物的衬底上热蒸发100nm的金属Al，再经过旋涂光刻胶、烘烤、紫外光曝光、显影、烘烤、Ar离子刻蚀等步骤得到所需的栅电极的图形结构，经过上述步骤便得到PVDF基铁电场效应晶体管器件。

2.根据权利要求1所述的一种调控铁磁性能的铁电场效应管的制备方法，其特征在于，所述的旋涂光刻胶的转速为4k转每分钟，烘烤温度为85摄氏度，紫外光曝光时间为20秒。

3.根据权利要求1所述的一种调控铁磁性能的铁电场效应管的制备方法，其特征在于，所述的PVDF基有机铁电聚合物溶液的溶剂为二甲基亚砜，其溶液浓度的质量百分含量为0.01％。

4.根据权利要求1所述的一种调控铁磁性能的铁电场效应管的制备方法，其特征在于，所述的超纯水的电阻为18.2兆欧姆，液面表面压控制在5毫牛顿每米。