[发明专利]一种平面研磨清洗剂无效

专利信息
申请号: 201410540833.7 申请日: 2014-10-14
公开(公告)号: CN104388956A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: 廖月红 申请(专利权)人: 东莞市四辉表面处理科技有限公司
主分类号: C23G1/02 分类号: C23G1/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523820 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 平面 研磨 洗剂
【权利要求书】:

1.一种平面研磨清洗剂,其特征在于该清洗剂包括:十七烷基异构醇醚、有机酸、羟基乙叉二膦酸。

2.根据权利要求1所述的一种平面研磨清洗剂,其中有机酸包括草酸。

3.根据权利要求1或2所述的一种平面研磨清洗剂,其中该清洗剂包括:十七烷基异构醇醚、草酸、羟基乙叉二膦酸、水。

4.根据权利要求1或2所述的一种平面研磨清洗剂,其中该清洗剂中各成分重量百分数为:十七烷基异构醇醚28-31%、草酸22-25%、羟基乙叉二膦酸17-21%、水18-33%。

5.根据权利要求1或2所述的一种平面研磨清洗剂中各成分重量百分数为:十七烷基异构醇醚28%、草酸25%、羟基乙叉二膦酸20%、水27%。

6.根据权利要求1或2所述的一种平面研磨清洗剂中各成分重量百分数为:十七烷基异构醇醚30%、草酸25%、羟基乙叉二膦酸20%、水25%。

7.根据权利要求1或2所述的一种平面研磨清洗剂中各成分重量百分数为:十七烷基异构醇醚28%、草酸25%、羟基乙叉二膦酸21%、水26%。

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