[发明专利]全自动晶圆激光打标机及方法

权利要求书

1.一种全自动晶圆激光打标机，其特征在于，包括：

机械手系统，用于取放和移送晶圆，并向CCD系统发送晶圆到位信号；

CCD系统，用于接收晶圆到位信号，扫描和处理晶圆实时图像信息，其包括CCD定位系统，用于检测晶圆的位置偏差并向激光打标系统传递偏差信号；

激光打标系统，用于根据CCD定位系统的偏差信号调整激光光束进行打标。

2.根据权利要求1所述的全自动晶圆激光打标机，其特征在于，所述CCD系统还包括CCD识别系统，用于识别晶圆的正反面和判断晶圆的正反面信息与所需打标面信息是否一致。

3.根据权利要求2所述的全自动晶圆激光打标机，其特征在于，还包括翻转系统，用于根据所述CCD识别系统发出的信号控制晶圆翻转。

4.根据权利要求1所述的全自动晶圆激光打标机，其特征在于，所述激光打标系统包括振镜，用于调整激光光束的位置。

5.一种全自动晶圆激光打标方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)机械手系统将晶圆放置在焦点定位平台上，并向CCD系统发出晶圆到位信号；

2)CCD系统接收到晶圆到位信号后，扫描晶圆实时图像信息；

3)CCD定位系统对扫描到的晶圆实时图像信息进行位置偏差检测，当存在位置偏差时，向激光打标系统发送位置偏差信息；

4)激光打标系统根据位置偏差信息调整激光光束进行打标。

6.根据权利要求5所述的全自动晶圆激光打标方法，其特征在于，所述步骤3)具体为：将扫描到的晶圆实时图像信息与预先定义的晶圆图像信息中的特征位置进行对比，当存在特征位置偏差时，发出偏差信息。

7.根据权利要求5所述的全自动晶圆激光打标方法，其特征在于，还包括识别翻转步骤，CCD识别系统对晶圆正反面进行识别，当识别到晶圆的正反面信息与所需打标面信息不一致时，向翻转系统发送信号，翻转系统控制晶圆翻转。

8.根据权利要求7所述的全自动晶圆激光打标方法，其特征在于，所述对晶圆正反面进行识别具体是根据晶圆正反面光洁度的差异来判断的。