[发明专利]一种新型微型惯性测量单元组合

权利要求书

1.一种新型微型惯性测量单元组合，包括基座，其特征在于，所述基座为平面型，在与基座平行的平面上焊接有两个梳齿式结构的加速度计、一个单支点扭摆式结构的加速度计、两个单支点角振动结构的陀螺和一个线振动结构的陀螺，所述单支点扭摆式结构的加速度计的下电极采用差分电容进行检测，所述线振动结构的陀螺用于检测由于x轴方向的运动引起的电容变化间接得到z轴角速度；一个梳齿式结构的加速度计和一个单支点角振动结构的陀螺的敏感轴沿x轴方向，用于检测x轴方向的加速度和角速度，另一个梳齿式结构的加速度计和另一个单支点角振动结构的陀螺的敏感轴沿y轴方向，用于检测y轴方向的加速度和角速度，所述单支点扭摆式结构的加速度计和线振动结构的陀螺的敏感轴沿z轴方向，用于检测z轴方向的加速度和角速度。

2.根据权利要求1所述的新型微型惯性测量单元组合，其特征在于，所述基座平行分层设置。

3.根据权利要求2所述的新型微型惯性测量单元组合，其特征在于，所述基座有三层，第一层和第二层分别焊接有一个梳齿式结构的加速度计和一个单支点角振动结构的陀螺，第三层焊接有一个单支点扭摆式结构的加速度计和一个线振动结构的陀螺。