[发明专利]一种微型常压辉光放电等离子体激发源

权利要求书

1. 一种微型常压辉光放电等离子体激发源，其特征在于，该激发源包括电源、限流电阻、绝缘底座、阳极金属管、石英管、阴极金属套管，其中所述绝缘底座沿水平方向依次开设同轴的圆柱形卡槽和通孔，通孔与圆柱形卡槽相接并其直径小于圆柱形卡槽的直径；所述石英管的封闭端固定在卡槽中，且在其封闭端中部与通孔对应处开设圆孔，所述圆孔的直径与通孔直径相同，阳极金属管两端均开口，其外径与所述通孔相匹配，阳极金属管由远离卡槽一侧穿入通孔，继续穿入卡槽中的石英管内部并固定；所述阴极金属套管固定在石英管开口端端头的外侧，且阴极金属套管上设有向其内侧石英管方向突出的内缘环；所述电源的正极与阳极金属管相连，电源的负极与阴极金属套管相连，电源的电压范围为600～1200V。

2.根据权利要求1所述的微型常压辉光放电等离子体激发源，其特征在于，阴极金属套管的内壁通过弹性卡环与石英管外壁相连。

3.根据权利要求1或2所述的微型常压辉光放电等离子体激发源，其特征在于，所述石英管长度为30～70mm，内径为3～6mm。

4. 根据权利要求3所述的微型常压辉光放电等离子体激发源，其特征在于，所述石英管中，阳极金属管与阴极金属套管的内缘环之间水平距离为5～20mm。

5.根据权利要求1所述的微型常压辉光放电等离子体激发源，其特征在于，所述阳极金属管的材质为铜或者铁或者钨或者不锈钢合金，厚度为0.3～1.5mm，阳极金属管的内径为0.3～2mm；所述阴极金属套管的材质为铜或者铁。

6.根据权利要求1 所述的微型常压辉光放电等离子体激发源，其特征在于，所述电源正极与阳极金属管之间或者电源负极与阴极金属套管之间串联1～10kΩ的限流电阻。