[发明专利]一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺

权利要求书

1.一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺，包括籽晶重量、籽晶温度、提拉高度和旋转速度4个工艺参数，其特征在于：所述的自动引晶工艺包括实现引晶过程的引晶动作和判断晶体生长状态的判断算法，所述的提拉高度和旋转速度是所述的引晶动作的实现参数，所述的籽晶重量和籽晶温度是所述的判断算法的判断参数，所述的籽晶温度通过籽晶的冷却出水与冷却进水的温度差来测量。

2.根据权利要求1所述的泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺，其特征在于：所述的引晶动作包括设定所述的旋转速度为3转/分钟，设定所述的提拉高度为2秒内提拉2毫米。

3.根据权利要求1所述的泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺，其特征在于：所述的判断算法包括：化料后，调整发热功率，使所述的籽晶的冷却出水与冷却出水的温度差在4~4.2摄氏度内，可判断为熔体温度达到引晶温度，通过降低所述的提拉高度将所述的籽晶插入熔体中开始进入引晶过程，所述的籽晶重量增加1克后，实现一次所述的引晶动作，动作完成30秒后，自动记录所述的籽晶的冷却出水与冷却进水的温度差和籽晶重量。

4.根据权利要求3所述的泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺，其特征在于，所述的引晶动作实施次数为35次。