[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜太阳电池器件及其制备方法

权利要求书

1.一种聚酰亚胺柔性衬底的铜锌锡硒薄膜太阳电池器件的制备方法，其特征在于：氟化钠预制层和铜锌锡硒吸收层采用共蒸发薄膜制备系统，应用三步共蒸发后掺钠的制备工艺，氟化钠预制层生长于铜锌锡硒吸收层之上。

2.一种如权利要求1所述的氟化钠预制层薄膜的制备，其生长于铜锌锡硒吸收层之上，实现了三步共蒸发铜锌锡硒薄膜钠元素的后掺杂，然后再退火，其目的在于：

①钠元素可以扩散到铜锌锡硒晶粒表面改善电池的电学性能；

②提高衬底温度，在Sn和Se的气氛下退火可以使铜锌锡硒薄膜再结晶，从而改善薄膜的结晶质量。

3.一种如权利要求1所述的氟化钠预制层薄膜的制备方法，其特征在于：采用共蒸发薄膜制备系统，应用蒸发的制备工艺，氟化钠预制层薄膜的制备步骤如下：

①本底真空为3.0×10^-4Pa，衬底温度为300-350℃，蒸发NaF预置层，其中NaF蒸发源的温度为800-850℃，蒸发时间为1-2min；

②衬底温度为450-500℃，在Sn和Se气氛下进行退火，其中Sn蒸发源的温度为1100-1200℃，Se蒸发源的温度为240-280℃，退火时间为10min。