[发明专利]应用于有机硅行业气体净化的过滤装置及工艺

说明书

技术领域

本发明涉及有机硅行业的气体净化技术，具体涉及应用于有机硅行业气体 净化的自动反吹过滤技术。

背景技术

目前，国内外多晶硅行业迅猛发展，现行的多晶硅工业化生产工艺在多个 工段均要求工艺气体的高精度过滤，如硅粉输送工序废气过滤、三氯氢硅合成 工序合成气过滤，三氯氢硅还原工序尾气过滤，四氯氢硅氧化工序尾气过滤等。

在现有的除尘行业中，用于高温烟气除尘的装置主要有以下几种，但均有 不足之处：

一、布袋除尘器，布袋材料易结露，寿命短，不耐高温；

二、旋风除尘器，造价低廉，结构简单，但除尘效率低；

三、洗涤式除尘器，能量损失大，能量利用率低，并产生新的液态废物；

四、颗粒层除尘器，效率较高，但投资高，占地面积大；

五、静电除尘器，能净化高温微细粉尘，净化效率高，能耗低，但一次投 资高，占地面积大，不适宜净化爆炸性气体和高比电阻粉尘。

发明内容

针对上述现有高温烟气除尘技术所存在的问题，本发明的目的在于提供一 种应用于有机硅行业气体净化的自动反吹过滤方案，该方案包括集过滤、清洗 再生及自动控制为一体的自动反吹过滤装置以及基于该装置实施的自动反吹 过滤工艺。

为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

第一方案：

应用于有机硅行业气体净化的过滤装置，所述过滤装置过滤器，其还包括 反吹脉冲气体储罐、收尘箱以及控制系统，所述过滤器的含尘进口连通含尘气 体进料管路，其洁净气体出口连通洁净气体出料管路，所述含尘气体进料管路 和洁净气体出料管路上分别设置进料控制阀和出料控制阀；所述反吹脉冲气体 储罐通过喷嘴集气管路与过滤器连通，喷嘴集气管上设置脉冲阀；所述收尘箱 通过排灰管路与过滤器的排灰口连通，该排灰管路上设置排渣阀；所述控制系 统分别控制连接进料控制阀、出料控制阀、脉冲阀以及排渣阀。

在该过滤装置的实例中，所述过滤器包括：

壳体，所述壳体内由下往上依次设置排灰室、高压室以及洁净气体收集室， 所述排灰室位于高压室下方，并与高压室连通，其底部设置排灰口，所述高压 室的底部侧壁上设置有含尘气体进口；所述洁净气体收集室位于高压室上方， 并与高压室隔离，其顶部的侧壁上设置有洁净气体出口；

过滤元件，所述过滤元件设置在壳体的高压室中，且过滤元件的出口端与 洁净气体收集室连通；

文丘里管，所述文丘里管对应设置在过滤元件的出口端上；

喷嘴集气管，所述喷嘴集气管设置在净气体收集室内，其上设置有对应于 文丘里管的喷嘴。

进一步的，所述过滤元件为烧结金属滤芯。

在该过滤装置的实例中，所述收尘箱可根据集尘量的大小设计成抽屉型或 灰桶型。

在该过滤装置的实例中，所述含尘气体入口管路和洁净气体出料管路之间 安装有用于检测进出口压差的高温压力传感器，该高温压力传感器与控制系统 相接。

在该过滤装置的实例中，所述进料控制阀、出料控制阀以及排渣阀采用气 动球阀。

第二方案：

应用于有机硅行业气体净化的过滤工艺，在进行过滤操作时，将有机硅行 业气体经物料进口进入过滤器，在过滤器内沿径向渗入每个过滤元件内腔，并 在过滤元件的管内沿轴向汇入洁净气体收集室，最后洁净的高温气体由出料管 路输出。

在过滤工艺的实例中，所述过滤工艺还包括自动反吹步骤，通过该步骤当 过滤元件的表面上形成灰饼时，将一股高压脉冲气体送入过滤器内的喷嘴集气 管中，通过喷嘴喷出形成反吹气体，该反吹气体进入文丘里管带走来自高压室 中的气体，进入到过滤元件内，并在过滤元件内形成一个高能量的反吹脉冲， 使过滤元件的表面上的灰饼剥离，灰饼落入过滤器底部，通过排灰管路收集到 收尘箱内。

进一步的，在自动反吹步骤中仅对部分过滤元件进行反吹清洁。

本发明提供的方案采用烧结金属作为过滤元件，其具有无污染、无相变、 能耗低、耐高温；孔径分布窄、过滤精度高，过滤通量稳定，膜渗透通量高等 优点。