[发明专利]化学机械研磨设备的环扣钢圈装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，其特征在于，包括：

研磨头钢圈，其具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，所述第一表面中设置有盲孔，所述盲孔的深度小于所述第一表面和第二表面的距离；

研磨环扣，所述研磨环扣朝向所述第二表面的表面与所述第二表面之间的接触面为非平面，以增大研磨环扣与所述研磨头钢圈之间的胶合作用。

2.如权利要求1所述的化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，其特征在于，所述第二表面设置有至少一个钢圈凹陷或/和钢圈突起；

所述研磨环扣的朝向所述第二表面的一侧形成有至少一个环扣突起和/或环扣凹陷，所述环扣突起与所述钢圈凹陷的形状和尺寸配合以在所述研磨环扣和研磨头钢圈之间形成非平面接触，所述环扣凹陷与所述钢圈突起的形状和尺寸配合以在所述研磨环扣和研磨头钢圈之间形成非平面接触。

3.如权利要求2所述的化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，其特征在于，所述研磨环扣上形成有一个环扣突起，所述研磨头钢圈上形成有钢圈凹陷，所述环扣突起与所述钢圈凹陷配合，将所述研磨环扣与研磨头钢圈之间形成非平面接触。

4.如权利要求3所述的化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，其特征在于，所述钢圈凹陷位于所述第二表面的中部，所述盲孔的数目为2个，对称分布与所述钢圈凹陷的两侧。

5.如权利要求1所述的化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，其特征在于，所述研磨环扣的材质为聚苯硫醚。