[发明专利]显示装置及其制造方法

说明书

显示装置及其制造方法。一种公开的显示装置包括第一氧化物半导体层和氧化物半导体连接线，这二者均由基板上的氧化物半导体材料层形成。所述氧化物半导体连接线一体地连接至所述第一氧化物半导体层并且具有比所述第一氧化物半导体层低的薄层电阻。所述显示装置还包括所述第一氧化物半导体层上或者所述第一氧化物半导体层与所述基板之间的第一栅极。所述显示装置还包括所述第一氧化物半导体层与所述第一栅极之间的第一栅绝缘层。

技术领域

本发明涉及包括导线(wire)和晶体管的显示装置，并且涉及制造该显示装置的方法。

背景技术

近年来，社会整体上正朝着真正的信息时代前进，并且用于处理和显示大量信息的显示技术正迅速地发展。具体地，诸如液晶显示装置、有机发光装置和电泳显示装置的显示装置(其通过它们的薄外形、轻重量和低功耗特性展示了极好的性能)已被开发并且正在替代常规的阴极射线管(CRT)。

以上描述的显示装置包括具有各种导线和晶体管的阵列基板。显示装置中所使用的阵列基板具有采用通过各区域中的接触孔电连接的不同类型的导线的结构，在所述区域中多个信号线彼此交叉。然而，这种情况下形成的接触孔导致显示装置的孔径比的减小。

发明内容

因此，本发明致力于一种显示装置和一种用于制造该显示装置的方法，其基本上消除了由于现有技术的限制和缺点而导致的一个或更多个问题。

本发明的目的在于提供一种显示装置和一种制造该显示装置的方法，其能够去除导致孔径比减小的信号线的接触孔，从而增大显示装置的孔径比。

本发明的附加优点和特征将在接下来的描述中阐述，并且部分地将从本说明书显而易见，或者可以从本发明的实践中学习。本发明的目的和其它优点将通过在撰写的说明书及其权利要求书以及附图中所具体指出的结构来实现和达到。

为了实现这些和其它优点并且根据本发明的目的，如具体实现和广义描述的，根据本发明的一个方面的显示装置包括：基板上的第一氧化物半导体层，该第一氧化物半导体层是基板上的氧化物半导体材料层的第一部分；基板上的氧化物半导体连接线，其中，该氧化物半导体连接线由氧化物半导体材料层的第二部分形成，一体地连接至第一氧化物半导体层，并且具有比第一氧化物半导体层低的薄层电阻；第一氧化物半导体层上或第一氧化物半导体层与基板之间的第一栅极；以及第一氧化物半导体层与第一栅极之间的第一栅绝缘层。

根据本发明的另一方面，一种制造显示装置的方法包括以下步骤：在基板上形成氧化物半导体材料层；在氧化物半导体材料层的第一部分上顺序地形成第一栅绝缘层和第一栅极，氧化物半导体材料层的第一部分是第一氧化物半导体层；以及处理氧化物半导体材料层的第二部分以形成氧化物半导体连接线，该氧化物半导体连接线一体地连接至第一氧化物半导体层，其中，氧化物半导体连接线具有比第一氧化物半导体层低的薄层电阻。

根据本发明的另一个方面，一种显示装置包括：基板上的氧化物半导体连接线，该氧化物半导体连接线由氧化物半导体材料层形成并且具有导体的电阻特性；第一层间绝缘层；第一导电层，该第一导电层通过第一层间绝缘层中的第一接触孔连接至氧化物半导体连接线；第二层间绝缘层；以及第二导电层，该第二导电层通过第一层间绝缘层和第二层间绝缘层中的第二接触孔连接至氧化物半导体连接线。

应当理解的是，以上总体描述和以下具体描述这二者是示例性和说明性的，并且旨在提供对要求保护的本发明的进一步说明。

附图说明

附图被包括以提供对本发明的进一步理解，并且被并入本申请并构成本申请的一部分，附图例示了本发明的实施方式，并且与本说明书一起用来说明本发明的原理。附图中：

图1是应用了示例实施方式的有机发光显示装置的构造图；

图2是根据本发明的第一示例实施方式的显示装置的示意性截面图；