[发明专利]一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜设备，具体地说是介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备。 

背景技术

在功能薄膜制造工艺中,许多介质、金属镀膜材料需要组合匹配应用,现有真空电阻蒸发技术中都是配置双套设备,即介质材料和金属材料的镀制要在不同的设备上完成,每镀完一种材料需充气取出,再换另一台设备镀,这样不仅设备投资重复,真空抽气时间重复,还易使贵重金属吸潮氧化,使产品的寿命大受影响。 

发明内容

本发明的目的是针对在现有的两种金箔的基础上，提供一种可大大提高生产效率的卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备。 

为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案为一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备，包括真空腔体和与真空腔体相接的抽真空系统；所述真空腔体中设有依次相接的放卷装置、导膜装置、冷却装置以及收卷装置，在导膜装置和冷却装置之间设有蒸发装置，所述蒸发装置为两种交换使用的蒸发装置，分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置。 

所述金属蒸发装置有多组独立蒸发舟间隔排列组成。 

所述独立蒸发舟包括蒸发电极，蒸发电极旁均配有供料装置。 

所述蒸发电极上接有变压器。 

所述介质蒸发装置为全幅宽无间隔条形蒸发带。 

所述全幅宽无间隔条形蒸发带为一槽型长条电极，其正负极在镀膜设备的两端。 

所述槽型长条电极上接有大功率变压器。 

所述导膜装置为导膜辊。 

所述冷却装置为水冷辊。 

为方便观察镀膜情况，在真空腔体上还设有观察窗。 

工作过程： 

在镀制金属薄膜时安装金属蒸发装置，其由多只蒸发电极组成，每只蒸发电极对应一个供电变压器，能够使其发热产生高温，多只蒸发电极并排均匀摆放，每只蒸发电极的后方都配备供料装置，将丝状被镀金属材料连续不断的送到加热的蒸发电极上，使其溶化、蒸发，然后沉积在上方的行走的薄膜上，完成金属材料的蒸镀。被镀的金属材料可以是丝状的铝、铜、银等等。 

在镀制介质材料时，将金属蒸发装置取下，装上介质蒸发装置，其为一个槽型长条电极，他的正负极在镀膜设备的两端，与金属蒸发装置互不影响，并配以大功率变压器，给电极供电产生高温，需要镀制的介质材料直接放在槽型电极上，当电极通电产生高温时，镀制材料根据性质不同溶化蒸发或升华，然后沉积于上方行走的薄膜上，完成介质材料的镀制。被镀的介质材料可以是氟化镁、氧化硅、硫化锌等等。 

有益效果：本发明克服了现有真空电阻蒸发镀膜设备蒸发介质材料和金属材料无法在同一真空腔体完成的问题，可满足功能薄膜制备多种材料组合匹配的工艺需求,可成倍地提高生产效率,极大地改善产品寿命,减少设备投资及占地空间。 

附图说明

图1为本发明结构示意图； 

图2为金属蒸发装置结构示意图； 

图3为介质蒸发装置结构示意图。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。 

如图1所示，一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备，包括真空腔体1和与真空腔体1相接的抽真空系统2； 

真空腔体1中设有依次相接的放卷装置3、导膜装置4、冷却装置5以及收卷装置6，在导膜装置4和冷却装置5之间设有蒸发装置7，蒸发装置7为两种交换使用的蒸发装置，分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置；在真空腔体1的侧壁上还设有观察窗12.其中导膜装置为导膜辊；冷却装置为水冷辊。 

其中，金属蒸发装置如图2所示，有多组独立蒸发舟间隔排列组成，每组独立蒸发舟包括蒸发电极8，蒸发电极8上接有变压器9，在蒸发电极8后方配有供料装置。 

介质蒸发装置为全幅宽无间隔条形蒸发带其为一槽型长条电极10,，其正负极在镀膜设备的两端，在槽型长条电极上接有大功率变压器11。 

实验例：飞行模拟器柔性反射薄膜原工艺制备。 

原设备的工艺：首先在柔性基材上镀高反射率的金属材料: 

准备工时30分钟+抽真空时间30分钟+预热时间20分钟+镀膜时间10分钟+降温时间10分钟＝100分钟； 

然后，产品取出后在金属薄膜上镀介质保护膜： 

准备工时30分钟+抽真空时间30分钟+预热时间20分钟+镀膜时间10分钟+降温时间10分钟＝100分钟； 

每件产品生产供需工时100+100＝200分钟。