[发明专利]一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置及方法有效
| 申请号： | 201410510257.1 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104330039B | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王道档;陈茜茜;徐杨波;刘维;赵军;孔明 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 坐标 测量 数值孔径 光纤 衍射 干涉 装置 方法 | ||
1.一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置，它包括激光器（1）、二分之一波片Ⅰ（2）、偏振分光棱镜（3）、四分之一波片（4）、反射镜（5）、移相器（6）、二分之一波片Ⅱ（9）、测量探头（12）、CCD探测器（13），其特征在于：所述测量探头（12）连接有亚波长孔径单模光纤Ⅰ（8）和亚波长孔径单模光纤Ⅱ（11），亚波长孔径单模光纤Ⅰ（8）与测量探头（12）连接部为出射端，另一端连接有光纤耦合器Ⅰ（7），亚波长孔径单模光纤Ⅱ（11）与测量探头（12）连接部为出射端，另一端连接有光纤耦合器Ⅱ（10），所述反射镜（5）与移相器（6）输出端连接，激光器（1）发出的光经过二分之一波片Ⅰ（2）射入偏振分光棱镜（3），分成透射光p和反射光s，透射光p经过二分之一波片Ⅱ（9）射入光纤耦合器Ⅱ（10），在亚波长孔径单模光纤Ⅱ（11）出射端产生点衍射球面波前W2，反射光s经过四分之一波片（4），射入反射镜（5），反射后，依次经过四分之一波片（4）和偏振分光棱镜（3）射入光纤耦合器Ⅰ（7），在亚波长孔径单模光纤Ⅰ（8）出射端产生点衍射球面波前W1，所述CCD探测器（13）采集点衍射球面波前W1和点衍射球面波前W2干涉条纹，所述CCD探测器（13）电连接有计算机（14），计算机（14）与移相器（6）电连接，所述亚波长孔径单模光纤Ⅰ（8）的出射端和所述亚波长孔径单模光纤Ⅱ（11）的出射端并排固定在测量探头（12）上，两个出射端的间距L为700μm至800μm。
2.根据权利要求1所述的一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置，其特征在于：所述亚波长孔径单模光纤Ⅰ（8）的出射端和所述亚波长孔径单模光纤Ⅱ（11）的出射端呈圆锥状，出射端出光口的直径为0.2μm至0.6μm。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置，其特征在于：所述亚波长孔径单模光纤Ⅰ（8）的出射端和所述亚波长孔径单模光纤Ⅱ（11）的出射端的外表面分别镀有铬金属膜层（121），膜层（121）厚度为150nm至250nm。
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