[发明专利]一种温湿度传感器在审
| 申请号： | 201410508317.6 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104236739A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 谷文;张珽;祁明锋;刘瑞;沈方平;丁海燕 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01N27/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 麦小婵;郝传鑫 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 温湿度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种温湿度传感器，其特征在于，包括衬底、导电层、湿度敏感层、测试电极和金属电极；
所述导电层形成于所述衬底上，所述湿度敏感层形成于所述导电层上且完全覆盖所述导电层，所述金属电极固定于所述湿度敏感层上，所述测试电极固定于所述衬底上且与所述导电层连接。
2.如权利要求1所述的温湿度传感器，其特征在于，所述金属电极包括第一梳齿和第二梳齿；所述第一梳齿与所述第二梳齿交错排列。
3.如权利要求1或2所述的温湿度传感器，其特征在于，所述金属电极为铝或金电极。
4.如权利要求3所述的温湿度传感器，其特征在于，所述衬底为半导体硅衬底。
5.如权利要求3所述的温湿度传感器，其特征在于，所述导电层由碳化硅、多孔硅或金属材料制成。
6.如权利要求3所述的温湿度传感器，其特征在于，所述湿度敏感层由聚酰亚胺、聚苯乙烯或醋酸纤维制成。
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