[发明专利]干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备

权利要求书

1.一种干涉滤波器，其特征在于，具备：

基板；

第一反射膜，设置于所述基板的一个面，且由多个层构成；

第二反射膜，与所述第一反射膜相对；

电极，设置于所述第一反射膜上；以及

第二基板，与所述基板相对，且设置有所述第二反射膜，

所述第一反射膜包括与所述第二反射膜相对的区域，且所述第一反射膜设置于从该区域至所述基板的外周缘的区域，

所述第二反射膜由多个层构成，并包括所述第二基板的与所述第一反射膜相对的区域，所述第二反射膜设置在从该区域至所述第二基板的外周缘的区域，

在所述第二反射膜上设置有第二电极。

2.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，

所述第一反射膜具备第一区域，所述第一区域隔着规定的间隙与所述第二反射膜相对，

所述电极具备透光性的镜电极和镜连接电极，在从设置有所述第一反射膜的面的法线方向俯视观察所述基板时，所述镜电极与所述第一区域重叠，所述镜连接电极从所述镜电极的外周缘设置至所述第一反射膜的所述第一区域外的规定位置。

3.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，

在所述基板的与设置有所述第一反射膜的面相反侧的另一面，从该面的法线方向俯视观察时，在与所述第一反射膜重叠的区域设置有抵消所述第一反射膜的膜应力的应力抵消膜。

4.根据权利要求3所述的干涉滤波器，其特征在于，

所述应力抵消膜是防止反射膜。

5.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，

所述第二反射膜具备隔着规定的间隙与所述第一反射膜相对的第二区域，

所述第二电极具备透光性的第二镜电极和第二镜连接电极，在从设置有所述第二反射膜的面的法线方向俯视观察所述第二基板时，所述第二镜电极与所述第二区域重叠，所述第二镜连接电极从所述第二镜电极的外周缘设置至所述第二反射膜的所述第二区域外的规定位置。

6.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，

所述第一反射膜具备第一区域，所述第一区域隔着规定的间隙与所述第二反射膜相对，

所述第二反射膜具备第二区域，所述第二区域隔着所述规定的间隙与所述第一区域相对，

所述电极具备第一驱动电极和第一驱动连接电极，从设置有所述第一反射膜的面的法线方向俯视观察所述基板时，所述第一驱动电极设置在所述第一区域的外侧，所述第一驱动连接电极从所述第一驱动电极的外周缘设置至所述第一反射膜的所述第一区域外的规定位置，

所述第二电极具备第二驱动电极和第二驱动连接电极，从设置有所述第二反射膜的面的法线方向俯视观察所述第二基板时，所述第二驱动电极设置在所述第二区域的外侧，所述第二驱动连接电极从所述第二驱动电极的外周缘设置至所述第二反射膜的所述第二区域外的规定位置。

7.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，

在所述第二基板的与所述基板相反侧的面，从该面的法线方向俯视观察时，在与所述第二反射膜重叠的区域设置有抵消所述第二反射膜的膜应力的第二应力抵消膜。

8.根据权利要求7所述的干涉滤波器，其特征在于，

所述第二应力抵消膜是防止反射膜。

9.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜包括将高折射率层与低折射率层交替层叠而成的多层膜。