[发明专利]一种光束偏振度测量装置和方法有效
| 申请号: | 201410503691.7 | 申请日: | 2014-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN104296875B | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
| 发明(设计)人: | 刘卫静;李斌诚;邢廷文;林妩媚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号: | G01J4/00 | 分类号: | G01J4/00 |
| 代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人: | 杨学明,顾炜 |
| 地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光束 偏振 测量 装置 方法 | ||
1.一种光束偏振度测量装置,其特征在于,该测量装置包括光学元件(1),角度控制器(2),第一光强度探测器(3),第二光强度探测器(4)和数据处理系统(5);所述光学元件(1)安装在角度控制器(2)上,通过角度控制器(2)调节待测光束的入射角度,由第一光强度探测器(3)和第二光强度探测器(4)分别测量经光学元件(1)透射和反射的光束强度,分别用ET和ER表示;数据处理系统(5)对测量结果进行处理得到入射光偏振度信息。
2.根据权利要求1所述的一种光束偏振度测量装置,其特征在于,所述的光学元件(1)应选择能够反射和透射待测光的光学基片,对待测光的吸收和散射损耗已知,光学基片应该薄以减小吸收损耗,可以是3mm厚或者更薄,光学基片尺寸应大于待测光入射至光学元件(1)上的光斑尺寸的三倍。
3.根据权利要求1所述的一种光束偏振度测量装置,其特征在于,所述的角度控制器(2)主要用于调节待测光束入射角,除采用转台外,也可以采用其他能够改变入射光角度的装置,具体为带有角度调节的光学镜架或者是固定角度光学镜架。
4.根据权利要求1所述的一种光束偏振度测量装置,其特征在于,所述的第一光强度探测器(3)和第二光强度探测器(4)用于测量经光学元件(1)后的透射光和反射光强度,从而计算待测光偏振度,光强度探测器可以是能量计也可以是激光功率计或者其他能测量光束强度的探测器,具体为光电二极管或光电倍增管。
5.根据权利要求1所述的一种光束偏振度测量装置,其特征在于,所述光学元件(1)前设置有入射角辅助调节装置(6),当经过小孔的入射光照射至光学元件(1)上,反射光同样经过小孔(6)时入射光角度为零度,除采用小孔外,也可以采用其他方法使入射角度精确定位至零度,如若通过光学元件(1)后的透射光没有干涉条纹时入射角度为零度,或者在待测光后加入两个小孔,入射光经过两个小孔,在入射光和邻近小孔间加入光学元件(1),如果光学元件(1)透射光同样经过两个小孔时则入射光角度为零度。
6.根据权利要求1-5任一所述的一种光束偏振度测量装置,其特征在于,在相同入射角时可以进行多次测量,以有效减小偏振度测量误差,具体三次测量即可以满足要求。
7.根据权利要求1-5任一所述的一种光束偏振度测量装置,其特征在于,在通过调节安装有光学元件(1)的角度控制器(2),对不同入射角进行多次测量,从而计算不同入射角时测量得到的待测光偏振度,以有效减小偏振度测量误差。
8.一种光束偏振度测量方法,其特征在于,测量步骤如下:
步骤1、调节待测光以入射角θ1入射至光学元件(1)上,θ1的范围是0°<θ1<90°,根据实际情况选择入射角确定值;
步骤2、分别通过第一光强度探测器(3)和第二光强度探测器(4)测量光学元件(1)透射和反射的待测光强度;
步骤3、数据处理系统(5)根据入射角θ1和第一光强度探测器(3)和第二光强度探测器(4)测量得到的光学元件(1)透射和反射的待测光强度结合偏振度计算公式,计算得到待测光偏振度;
步骤4、判断是否增加一次待测光的透射光和反射光强度测量,是,返回步骤3,否,继续下一步;
步骤5、判断是否增加一个待测光入射角度的测量,是,返回步骤1,否,结束。
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