[发明专利]一种CCD调制传递函数测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：包括三维调整系统、光源和光处理单元；所述光处理单元固定在三维调整系统上，光处理单元包括目标狭缝和显微物镜；所述目标狭缝和显微物镜依次设置在所述光源的出射光路上，显微物镜包括两个面，其中一个面上设有螺纹，设有螺纹的面为像方，另一个面为物方；所述光源的出射光由像方入射，由物方出射。

2.根据权利要求1所述的CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：所述光处理单元还包括折轴镜和目镜，折轴镜设置在显微物镜和目标狭缝之间的光路上；目镜设置在折轴镜的上方，使得当转动折轴镜时，通过目镜能够看到被测CCD感光面。

3.根据权利要求1或2所述的CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：所述三维调整系统包括竖直电控平移台、水平电控平移台和前后电控平移台，水平电控平移台固定在前后电控平移台上，竖直电控平移台固定在水平电控平移台上，竖直电控平移台、水平电控平移台和前后电控平移台之间两两相互垂直，所述光处理单元固定在竖直电控平移台上。

4.根据权利要求3所述的CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：所述目标狭缝的宽度是被测CCD感光面像元宽度的1～2倍。

5.根据权利要求4所述的CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：所述CCD调制传递函数测量装置还包括控制采集系统；所述控制采集系统包括光源控制单元、运动方向控制单元和采集单元；所述光源控制单元与光源相连；运动方向控制单元分别与竖直电控平移台、水平电控平移台和前后电控平移台相连；采集单元与被测CCD相连。

6.根据权利要求5所述的CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：所述控制采集系统还包括与被测CCD相连的显示单元。

7.采用权利要求1至6任一所述的CCD调制传递函数测量装置测量CCD调制传递函数的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

1)通过目镜查看被测CCD感光面；

若能够看到，则进行步骤3)，否则进行步骤2)；

2)调整竖直电控平移台、水平电控平移台和/或前后电控平移台，重复步骤1)；

3)将光路中的折轴镜移开；

4)通过控制采集系统的显示单元，在被测CCD感光面上选择被测像元，将被测CCD感光面上目标狭缝的像作为目标图像，确保被测CCD工作在线性响应区内，将目标图像调整到选择的被测像元上；

5)移动竖直电控平移台或水平电控平移台，使目标图像从被测像元的一边移动至另一边，在移动过程中获取被测像元灰度值；

6)以步骤6)竖直电控平移台或水平电控平移台移动的距离为X轴，以步骤6)获取的被测像元灰度值为Y轴，得到被测像元的线扩展函数；

7)利用汉明窗对其进行切趾运算，并通过一维离散傅里叶变换，取模归一化得到被测像元的调制传递函数。

8.根据权利要求7所述的CCD调制传递函数测量方法，其特征在于：所述方法还包括以下步骤：

8)调整前后电控平移台或被测CCD与显微物镜之间的距离，重复步骤4)至步骤7)，在步骤4)中选择同一个被测像元；

9)选择步骤8)得到的最大的调制传递函数，作为被测CCD的调制传递函数。

9.根据权利要求8所述的CCD调制传递函数测量方法，其特征在于：重复步骤8)至少10次。