[发明专利]一种声表面波气体传感器在审
| 申请号： | 201410496871.7 | 申请日： | 2014-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105510434A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 何志杰 | 申请（专利权）人： | 何志杰 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波气体传感器，其中采用了双声路差动结构；其特征在于：一声路包括匹配网络模块连接放大器模块、所述放大器模块连接相移网络模块、所述相移网络模块连接功分器模块、所述功分器模块连接匹配网络模块，功分器模块输出连接混频器；另一生路包括匹配网络模块连接放大器模块、所述放大器模块连接相移网络模块、所述相移网络模块连接功分器模块、所述功分器模块连接匹配网络模块，功分器模块输出连接混频器；传感器内部包括敏感膜、SAW双延迟模块。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波气体传感器，其特征在于：所述声表面波气体传感器SAW采用延迟线结构的SAW振荡器，叉指换能器(IDT)电极一般采用Au。
3.根据权利要求1所述的一种声表面波气体传感器，其特征在于：所述SAW延迟线的单膜选择性，通过长输入IDT和短输出IDT的频响组合来实现。
4.根据权利要求1所述的一种声表面波气体传感器，其特征在于：所述低IL可通过电极宽度控制单向单相换能器(EWC/SPUDT)实现，采用抽指加权的形式。
5.根据权利要求4所述的一种声表面波气体传感器，其特征在于：所述SAW表面声波气体传感器灵敏度的提高是采用分辨率更高的电子束光刻(EBL)技术，采用EBL和剥离工艺相结合完成IDT的制作。
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