[发明专利]一种微机械结构牺牲层及微机械结构制作方法

权利要求书

1.一种微机械结构牺牲层制作方法，其特征在于：采用低熔点合金作为材料制作牺牲层；所述低熔点合金是指合金熔点在300摄氏度以下的合金材料。 

2.根据权利要求1所述的牺牲层制作方法，所述低熔点合金牺牲层的制作方法步骤为：

一、将形成低熔点合金的金属混合物材料涂覆在基底结构上；

二、对所述金属混合物材料进行加热合金化形成低熔点合金的填充；

所述金属混合物材料涂覆的量要保证加热合金化后形成的低熔点合金高度大于等于有效结构的高度。

3.根据权利要求2所述的牺牲层制作方法，所述方法还包括，制作低熔点合金牺牲层前，先设置使低熔点合金分布均匀的辅助结构。

4.根据权利要求3所述的牺牲层制作方法，所述辅助结构高度与有效结构高度一致。

5.根据权利要求3或4所述的牺牲层制作方法，所述辅助结构密度根据有效结构高度而定，高度越大，密度越大。

6.根据权利要求2到3之一所述的牺牲层制作方法，所述方法还包括，制作低熔点合金牺牲层前，在低熔点合金与基片、辅助结构和有效结构接触表面设置过渡金属层。

7.一种微机械结构制作方法，其特征在于：具体方法步骤为：

制作微机械结构的基底结构，包括基片及有效结构；

将形成低熔点合金的金属混合物材料涂覆在基底结构上；

对所述金属混合物材料进行加热合金化形成低熔点合金的填充；

对填充后的表面进行平坦化，并露出有效结构的上表面；

在平坦化后的牺牲层表面制作需要的各种结构，与步骤1中的基底结构形成悬置或封闭的腔体；

选择性的去除低熔点合金牺牲层；

所述低熔点合金是指合金熔点在300摄氏度以下的合金材料。

8.根据权利要求7所述的微机械结构制作方法，在步骤1和步骤2之间的步骤还包括：设置使低熔点合金分布均匀的辅助结构。

9.根据权利要求7或8所述的微机械结构制作方法，在步骤1和步骤2之间的步骤还包括：在低熔点合金与基片、辅助结构和有效结构接触表面设置过渡金属层。