[发明专利]一种纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法

权利要求书

1.一种纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将纤维或纤维编织体置于丙酮中超声清洗5-10min，以去除表面污物，干燥后，放入沉积炉膛内；

（2）对沉积炉膛进行抽真空、充氮气操作，重复2-4次，以除去炉膛内残留空气；

（3）升温至500-1000℃，待温度稳定后，对沉积炉膛抽真空至1-10kPa；

（4）向沉积炉膛内导入载气和稀释气体，载气流量10-500mL/min，稀释气体流量10-500mL/min，系统压强维持在1-10kPa；将前驱体液态低分子碳硅烷放在保温温度为0-25℃的鼓泡瓶中，载气通过鼓泡的方式将液态低分子碳硅烷带入沉积炉内，液态低分子碳硅烷分解形成SiC，并逐渐沉积在纤维表面，沉积时间为1-120min；

（5）沉积结束后，停止通入载气，关闭真空泵，在稀释气体保护下，随炉冷却至室温，取出SiC涂层的纤维或纤维编织体，即成。

2.根据权利要求1所述的纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于：步骤（4）中，所述前驱体液态低分子碳硅烷为聚二甲基硅烷400-600℃热解重排合成聚碳硅烷时产生的副产物，是以Si-Si键及Si-C键构成主链的碳硅烷低聚物，数均分子量低于600。

3.根据权利要求1或2所述的纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述纤维为碳纤维、碳化硅纤维、石英纤维、玻璃纤维、氮化硅纤维或莫来石纤维；所述纤维编织体为碳纤维编织体、碳化硅纤维编织体、石英纤维编织体、玻璃纤维编织体、氮化硅纤维编织体或莫来石纤维编织体。

4.根据权利要求1或2所述的纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于，步骤（3）中，将沉积炉膛升温至800-900℃，抽真空至2-5kPa。

5.根据权利要求1或2所述的纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于，步骤（4）中，所述载气流量为100-300mL/min，系统压强维持在2-5kPa。

6.根据权利要求1或2所述的纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于，步骤（4）中，沉积时间为30-60min。

7.根据权利要求1或2所述的纤维表面碳化硅涂层的低成本制备方法，其特征在于，所述载气为氮气或氩气；所述稀释气体为氮气或氩气。