[发明专利]扩散头装置和气体分布方法

权利要求书

1.一种形成薄膜太阳能电池的方法，包括：

在室中提供包括衬底、背面接触层、吸收层和缓冲层的部分制造的薄膜太阳能电池；以及

通过具有配置成蜂巢状图案的多个开口的扩散板将工艺气体引入至所述室内，以在所述缓冲层上方形成顶部接触层，其中，所述多个开口中的每个均包括圆锥台部分。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述蜂巢状图案包括设置成行的所述多个开口，所述行以第一方向定向，其中，邻近的行在所述第一方向上彼此偏移。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述顶部接触层是透明导电氧化物。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述吸收层是CIGS吸收件。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，所述多个开口中的每个还包括圆柱形部分。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述多个开口中的每个的所述圆锥台部分的底部的宽度是圆柱形部分的顶部的宽度的至少两倍。

7.根据权利要求2所述的方法，其中，第一轴垂直于所述扩散板的表面，并且其中，所述圆锥台部分的外表面相对于所述第一轴设置成介于0度和60度之间的角度。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，通过MOCVD形成所述顶部接触层。

9.一种在薄膜太阳能电池制造期间用于化学汽相沉积的装置，包括：

扩散头，包括：

第一板；

第二板，连接至所述第一板，所述第二板具有配置成蜂巢状图案的多个开口，其中，所述多个开口中的每个均包括圆锥台部分；以及

供应腔，限定在所述第一板和所述第二板之间，所述供应腔流体连接至第一工艺气体入口。

10.一种在薄膜太阳能电池制造期间用于化学汽相沉积的装置，包括：扩散头，包括：

第一板；

第二板，连接至所述第一板，所述第二板具有配置成蜂巢状图案的多个开口，其中，所述多个开口中的每个都包括圆柱形部分和圆锥台部分；及

供应腔，限定在所述第一板和所述第二板之间，所述供应腔流体连接至第一工艺气体入口；以及

室，其中，所述扩散头安装在所述室中。