[发明专利]一种检测高纯气体中气溶胶的方法及装置无效
| 申请号： | 201410485633.6 | 申请日： | 2014-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN104198439A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 何兴道;夏如孝;吴涛;葛洋;李翔 | 申请（专利权）人： | 南昌航空大学 |
| 主分类号： | G01N21/51 | 分类号： | G01N21/51 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 | 代理人： | 欧阳沁 |
| 地址： | 330063 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 高纯 气体 中气 溶胶 方法 装置 | ||
1.一种检测高纯气体中气溶胶的方法，其特征在于：根据高纯气体瑞利-米散射频谱中是否存在米散射峰判断气体中是否存在气溶胶，当高纯气体中不存在气溶胶时，其散射频谱中不存在米散射峰,当高纯气体中存在气溶胶时，其散射频谱中存在米散射峰；根据米散射峰的强度判断气溶胶的浓度。
2.一种检测高纯气体中气溶胶的装置，其特征在于：该装置包括激光器（1）、凸透镜（2、10）、气体散射池（3）、光学准直及滤波系统（4）、鉴频装置（9）、光电探测器（11）、数据采集卡（12）和计算机（13）；
激光器（1）输出的激光经凸透镜（2）聚焦到气体散射池（3）中，与里面的气体分子相互作用，产生散射信号,散射光经准直及滤波系统（4）准直、滤波后进入鉴频装置（9）中进行鉴频，然后通过凸透镜（20）聚焦到光电探测器（11）中,光电探测器（11）探测到的散射信号由数据采集卡（12）进行采集，最终在计算机（13）中进行显示，测得高纯气体的瑞利-米散射频谱。
3.如权利要求2所述的一种检测高纯气体中气溶胶的装置，其特征在于：激光器（1）为连续泵浦激光器或脉冲激光器，输出激光的线宽小于100MHz。
4.如权利要求2所述的一种检测高纯气体中气溶胶的装置，其特征在于：鉴频装置（9）为F-P扫描干涉仪或斐索干涉仪，F-P扫描干涉仪的自由光谱范围小于10GHz，精细度大于20，斐索干涉仪的分辨率小于或等于100MHz。
5. 如权利要求2所述的一种检测高纯气体中气溶胶的装置，其特征在于：光电探测器（11）为光子计数器、光电倍增管或ICCD。
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