[发明专利]一种制备形貌可控的螺旋碳纳米管的方法

权利要求书

1.一种制备形貌可控的螺旋碳纳米管的方法，其特征是通过控制喷涂次数可控制所得螺旋碳纳米管的形貌，其步骤为配制硝酸镍乙醇溶液，用喷涂法制备镍催化剂前驱体薄膜，在400～500℃分解还原后，乙炔为碳源，氢气和氩气为载气，在450～850℃采用化学气相沉积法制备。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所用的硝酸镍乙醇溶液的浓度wt％＝0.1～0.5％。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于喷涂条件：气体压力0.05～0.3MPa，喷枪口与硅片基底的垂直距离2～8cm，加热板温度40～80℃。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于催化剂前驱体的分解温度为400～500℃，分解时间为5～30min。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于催化剂还原的温度为400～850℃，时间为5～20min。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于催化剂还原时氢气和氩气的比例为1～1∶3，混合气流量为200～500sccm。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于优选化学气相沉积温度为580～780℃。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于优选反应沉积时乙炔流量为5～15sccm，载气流量为200～300sccm。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于化学气相沉积时间为5～30min。