[发明专利]一种IGZO靶材专用氧化镓粉末的制备方法

权利要求书

1.一种IGZO靶材专用氧化镓粉末的制备方法，其特征在于，通过氧化喷嘴实现金属镓的氧化和粉碎，所述的氧化喷嘴中央设有圆形金属液孔，圆形金属液孔四周均匀分布有4个气流孔，所述气流孔沿圆形金属液孔轴心20～40°夹角方向设置；进行金属镓的氧化和粉碎时，将金属镓加热到250～350℃后，从圆形金属液孔流出，同时，从所述的4个气流孔中同时以5～10MPa的压力喷出250～350℃热空气，液态金属镓在气流交汇处被气流冲击、剪切，同时进行氧化反应，形成平均粒径为2.5～3μm的氧化镓粉末。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的金属镓加热到280～320℃。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的热空气的温度为280～320℃。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的气流孔沿圆形金属液孔轴心25～35°夹角方向设置。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，热空气的喷出压力为6～8MPa。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所得的氧化镓粉末粒径≤10μm的颗粒含量在99％以上，且粒径≤5μm的颗粒含量在85％以上。

7.根据权利要求1～6任一项所述的制备方法，其特征在于，先将金属镓加热到280～320℃，从圆形金属液孔流出，同时，从所述的4个气流孔中同时以6～8MPa的压力沿圆形金属液孔轴心25～35°夹角方向喷出280～320℃热空气，液态金属镓在气流交汇处被气流冲击、剪切，同时进行氧化反应，形成平均粒径为2.5～3μm，且粒径≤10μm的颗粒含量在99％以上，且粒径≤5μm的颗粒含量在85％以上氧化镓粉末。