[发明专利]一种太阳能电池及其制造方法在审
申请号: | 201410477854.9 | 申请日: | 2014-09-18 |
公开(公告)号: | CN104576769A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 弗兰西丝卡·沃妮;戈尔德·费希尔;托斯滕·韦伯 | 申请(专利权)人: | 太阳世界创新有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 李献忠 |
地址: | 德国弗*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池(100),其包括:
所述太阳能电池(100)的阴影侧上的第一介质层(104);以及
所述第一介质层(104)上的第二介质层(105);
其中,所述第二介质层(105)包括氢,并且所述第二介质层(105)中的氢含量被测量,使得所述第二介质层(105)得到小于2.0的折射率。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池(100),其中,所述第二介质层(105)包括层厚在50nm至200nm的范围内的氮化硅。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池(100),其中,所述太阳能电池(100)被构造成PERC太阳能电池。
4.一种太阳能模块,其包括多个根据权利要求1至3之一所述的太阳能电池(100)。
5.根据权利要求4所述的太阳能模块,其进一步包括封装,所述封装被构造成使得氢嵌入所述太阳能电池(100)中。
6.根据权利要求5所述的太阳能模块,其中,所述封装包括乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(EVA)。
7.一种用于制造太阳能电池(100)的方法,所述方法包括:
通过添加气体硅烷(SixHy)和一氧化二氮(N2O)在所述太阳能电池(100)的阴影侧上沉积第一介质层(104);
随后通过添加气体硅烷(SixHy)和氨气(NH3)在所述第一介质层(104)上沉积第二介质层(105),其中,氨气的体积流率比所述硅烷的体积流率大至少15倍。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述第二介质层(105)沉积为层厚在50nm至200nm的范围内的氮化硅层。
9.根据权利要求7所述的方法,其中,所述太阳能电池(100)被构造为PERC太阳能电池(100)。
10.根据权利要求7所述的方法,其进一步包括:在500℃至1000℃下加热所述第一介质层(104)和/或所述第二介质层(105)持续大约1秒至大约10秒的时间段。
11.根据权利要求7所述的方法,其中,所述第二介质层(105)中的氢含量被测量,使得所述第二介质层(105)得到小于2.0的折射率。
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