[发明专利]可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法

权利要求书

1.一种可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1）对K9玻璃基底进行清洗，去除基片表面的油污杂质；

2）将K9玻璃基底放入离子束刻蚀系统，设定离子束轰击角度、刻蚀电流、加速电压、刻蚀时间，对K9玻璃基底进行离子束刻蚀，形成表面具有粗糙度的基底；

3）将刻蚀后的基底清洗干净后置于真空沉积系统中进行烘干；

4）把烘干刻蚀后的K9玻璃基底放入直流溅射沉积系统中，设定沉积工作功率和薄膜沉积时间，将货币金属均匀的沉积在被刻蚀的基底表面，形成表面增强层基底，将沉积好的薄膜基底取出。

2.根据权利要求1所述可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法，其特征在于，所述货币金属选金、银、铜中的任意一种或两种以上的复合材料层。

3.根据权利要求2所述可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法，其特征在于，

所述离子束刻蚀系统离子束轰击角度0～80度，刻蚀电流为100～600mA，加速电压为100～600V，刻蚀时长为1～30分钟。

4.根据权利要求3所述可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法，其特征在于，

所述离子束刻蚀系统，所用气体为四氟化碳。